切斷裝置以及切斷方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及通過切斷被切斷物來制造經(jīng)單片化后的多個產(chǎn)品的切斷裝置以及切斷方法。
【背景技術(shù)】
[0002]將由印刷基板或引線框等構(gòu)成的基板虛擬地劃分為格子狀的多個區(qū)域，并在各個區(qū)域中安裝芯片狀的元件(例如，半導(dǎo)體芯片)，之后對基板整體進(jìn)行樹脂封裝，將得到的產(chǎn)物稱為封裝基板。通過使用了旋轉(zhuǎn)刃等的切斷機(jī)構(gòu)來切斷封裝基板，單片化為各個區(qū)域單位后成為產(chǎn)品。
[0003]一直以來，在切斷裝置中使用切斷機(jī)構(gòu)并通過旋轉(zhuǎn)刃等切斷單元來切斷封裝基板的規(guī)定區(qū)域。首先，將封裝基板放置并吸附于切斷用工作臺上。接著，對封裝基板進(jìn)行對準(zhǔn)(對位)。通過進(jìn)行對準(zhǔn)，從而設(shè)定劃分多個區(qū)域的虛擬切斷線的位置。接著，使吸附有封裝基板的切斷用工作臺與切斷機(jī)構(gòu)相對移動。在對封裝基板的切斷部位噴射切削水的同時，由切斷機(jī)構(gòu)沿著設(shè)定于封裝基板的切斷線來切斷封裝基板。通過切斷封裝基板來制造經(jīng)單片化后的廣品。
[0004]在切斷機(jī)構(gòu)中，旋轉(zhuǎn)刃與驅(qū)動機(jī)構(gòu)經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸而連接。切斷機(jī)構(gòu)通過驅(qū)動機(jī)構(gòu)使旋轉(zhuǎn)軸高速旋轉(zhuǎn)，從而將封裝基板切斷。由于旋轉(zhuǎn)軸高速旋轉(zhuǎn)，使得旋轉(zhuǎn)軸發(fā)熱而產(chǎn)生熱膨脹，從而在沿著旋轉(zhuǎn)軸的中心線的方向(旋轉(zhuǎn)軸方向)上延伸。當(dāng)旋轉(zhuǎn)軸延伸時，安裝在旋轉(zhuǎn)軸前端的旋轉(zhuǎn)刃也在旋轉(zhuǎn)軸方向上延伸。因此，為了抑制旋轉(zhuǎn)軸產(chǎn)生熱膨脹而對旋轉(zhuǎn)軸的周圍供給冷卻水。為了極力控制旋轉(zhuǎn)軸的延伸量，假定在驅(qū)動機(jī)構(gòu)中一直流過額定電流的情況而將大量的冷卻水供給到切斷機(jī)構(gòu)。然而，空轉(zhuǎn)狀態(tài)等實(shí)際上流過的電流并未達(dá)到額定電流的情況也較多，對切斷結(jié)構(gòu)供給大量的冷卻水會使經(jīng)濟(jì)負(fù)擔(dān)大且產(chǎn)生浪費(fèi)。
[0005]如果使供給到切斷機(jī)構(gòu)的冷卻水的流量減少，則旋轉(zhuǎn)軸的延伸量會增加。此外，如果對供給到切斷機(jī)構(gòu)的冷卻水的流量進(jìn)行變更，則旋轉(zhuǎn)軸的延伸量也會發(fā)生變化。因此，如果對切斷裝置在動作過程中變更冷卻水的流量，則在旋轉(zhuǎn)軸的前端安裝的旋轉(zhuǎn)刃的偏移量會發(fā)生變化。為此，難以在對冷卻水的流量進(jìn)行變更時與旋轉(zhuǎn)軸延伸出的量相對應(yīng)地對旋轉(zhuǎn)刃的偏移量進(jìn)行校正。因此，雖然浪費(fèi)，但現(xiàn)狀還是一直對切斷機(jī)構(gòu)供給大量的冷卻水。
[0006]作為要節(jié)約使用水、空氣等流體的加工裝置，提出有如下的加工裝置(例如，參考專利文獻(xiàn)I的段落
[0010]、圖3?圖5)，該加工裝置“(略)是至少由心軸單元和流體構(gòu)成的加工裝置，所述心軸單元由旋轉(zhuǎn)心軸和可旋轉(zhuǎn)地支撐旋轉(zhuǎn)心軸的心軸支撐架構(gòu)成，所述流體在對被加工物進(jìn)行切削時使用或者產(chǎn)生，在流體的流通路徑中配設(shè)有對流體的流量進(jìn)行調(diào)整的流量調(diào)整單元，與旋轉(zhuǎn)心軸的運(yùn)轉(zhuǎn)及停止連動地對該流體的流量進(jìn)行調(diào)整”。
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本專利公開2001-259961號公報
[0008]然而，在專利文獻(xiàn)I所公開的加工裝置中，會產(chǎn)生如下所述的問題。如專利文獻(xiàn)I的圖4所示，旋轉(zhuǎn)心軸22發(fā)熱而在Y軸方向(旋轉(zhuǎn)軸方向)上膨脹，因此為了不使切割刀片18產(chǎn)生錯位，而在旋轉(zhuǎn)心軸22進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的期間，使冷卻水在冷卻水供給路徑30中流通。在此期間，冷卻水由冷卻水生成單元32供給，并經(jīng)由被第一控制單元33指示而成為開狀態(tài)的第一調(diào)節(jié)閥31而流入到冷卻水供給路徑30中，在心軸支撐架23內(nèi)流通后，被排出到排水管。
[0009]在這種裝置中，在旋轉(zhuǎn)心軸22進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的期間，一直使一定量的冷卻水流通。然而，根據(jù)欲切斷的被加工物的不同，大小、厚度、欲切斷的材料等也不同。因此，根據(jù)欲切斷的被加工物的不同，進(jìn)行切斷時的切斷負(fù)荷也不同。切斷負(fù)荷增大時，用于使旋轉(zhuǎn)心軸22旋轉(zhuǎn)的負(fù)載電流增大，使得發(fā)熱量增大。此外，當(dāng)切割刀片18產(chǎn)生磨損或者切割刀片18的磨粒發(fā)生脫落時，切割刀片18變鈍而使切斷負(fù)荷增大。在這種情況下，由熱膨脹引起的旋轉(zhuǎn)心軸22的延伸量增大，因此必須供給大量的冷卻水。在旋轉(zhuǎn)心軸22進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的期間，例如，即使是在未進(jìn)行切斷的狀態(tài)下負(fù)載電流較小的情況，也同樣供給大量的冷卻水。為此，由于過量供給冷卻水而產(chǎn)生浪費(fèi)，因此無法降低切斷裝置的運(yùn)用成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]本發(fā)明用于解決上述問題，其目的在于提供一種切斷裝置以及切斷方法，在切斷裝置中，在旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的期間，能夠?qū)σ恢毕蚯袛鄼C(jī)構(gòu)供給的冷卻水的流量進(jìn)行調(diào)整。
[0011]為了解決上述問題，本發(fā)明所涉及的切斷裝置具備:工作臺，放置被切斷物；切斷機(jī)構(gòu)，對所述被切斷物進(jìn)行切斷；以及移動機(jī)構(gòu)，使所述工作臺和所述切斷機(jī)構(gòu)相對移動，
[0012]所述切斷裝置在通過沿著切斷線切斷所述被切斷物來制造多個產(chǎn)品時被使用，
[0013]其特征在于，具備:
[0014]旋轉(zhuǎn)軸，設(shè)置于所述切斷機(jī)構(gòu)；
[0015]驅(qū)動機(jī)構(gòu)，設(shè)置于所述切斷機(jī)構(gòu)，并使所述旋轉(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；
[0016]冷卻水通路，設(shè)置于所述切斷機(jī)構(gòu)，并形成在所述旋轉(zhuǎn)軸的周圍；
[0017]旋轉(zhuǎn)刃，安裝于所述旋轉(zhuǎn)軸的前端部；
[0018]第一夾具，在所述前端部中被設(shè)置于所述切斷機(jī)構(gòu)那一側(cè)；
[0019]第二夾具，從所述第一夾具來看被設(shè)置于所述前端部那一側(cè)，并以與所述第一夾具之間夾住所述旋轉(zhuǎn)刃的狀態(tài)，將所述旋轉(zhuǎn)刃固定；
[0020]電流供給機(jī)構(gòu)，向所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)供給電流；
[0021]測定單元，對關(guān)于所述切斷機(jī)構(gòu)的物理量進(jìn)行測定；
[0022]流量調(diào)整單元，被連接于所述冷卻水通路，對向所述冷卻水通路供給的冷卻水的流量進(jìn)行調(diào)整；
[0023]冷卻水送出機(jī)構(gòu)，向所述流量調(diào)整單元送出所述冷卻水；以及
[0024]控制單元，至少被連接于所述流量調(diào)整單元，
[0025]所述控制單元對由所述測定單元測定出的所述物理量的測定值與預(yù)先存儲的所述物理量的存儲值進(jìn)行比較，并根據(jù)所述比較的結(jié)果，對供給到所述冷卻水通路的所述冷卻水的流量進(jìn)行變更。
[0026]在本發(fā)明所涉及的切斷裝置中，具有如下方式，
[0027]所述測定單元是被連接于所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)并對所述電流進(jìn)行測定的電流測定單元，
[0028]所述物理量是所述電流，
[0029]所述控制單元被連接于所述電流測定單元，
[0030]所述控制單元根據(jù)所述比較的結(jié)果對所述電流的增減進(jìn)行檢測，并根據(jù)該檢測結(jié)果，對所述冷卻水的流量進(jìn)行增減。
[0031]此外，在本發(fā)明所涉及的切斷裝置中，具有如下方式，
[0032]所述測定單元是被設(shè)置于所述切斷機(jī)構(gòu)并對所述切斷機(jī)構(gòu)與所述夾具之間的距離進(jìn)行測定的距離測定單元，
[0033]所述物理量是所述距離，
[0034]所述控制單元被連接于所述距離測定單元，
[0035]所述控制單元根據(jù)所述比較的結(jié)果對所述距離的增減進(jìn)行檢測，并根據(jù)該檢測結(jié)果，對所述冷卻水的流量進(jìn)行增減。
[0036]此外，在本發(fā)明所涉及的切斷裝置中，具有如下方式，
[0037]所述控制單元求出所述切斷機(jī)構(gòu)與所述夾具之間的距離的測定值與預(yù)先存儲的所述距離的存儲值之間的差值，并根據(jù)所述差值，使所述旋轉(zhuǎn)刃的位置對準(zhǔn)于所述切斷線的位置。
[0038]此外，在本發(fā)明所涉及的切斷裝置中，具有如下方式，
[0039]所述距離測定單元至少包括渦流式位移傳感器或光學(xué)式位移傳感器。
[0040]此外，在本發(fā)明所涉及的切斷裝置中，具有如下方式，
[0041]存儲有多個存儲值以作為所述存儲值，
[0042]所述多個存儲值與所述冷卻水的多個流量值分別對應(yīng)，
[0043]通過對所述測定值與所述多個存儲值進(jìn)行比較，從而使向所述冷卻水通路供給的所述冷卻水的流量被調(diào)整為所述多個流量值中的一個。
[0044]此外，在本發(fā)明所涉及的切斷裝置中，具有如下方式，
[0045]所述被切斷物是封裝基板。
[0046]此外，在本發(fā)明所涉及的切斷裝置中，具有如下方式，
[0047]所述被切斷物是在分別與所述多個產(chǎn)品相對應(yīng)的多個區(qū)域中制作有功能元件的基板。
[0048]為了解決上述問題，本發(fā)明所涉及的切斷方法包括:
[0049]在工作臺載置被切斷物的工序；使所述工作臺與切斷機(jī)構(gòu)相對移動的工序；以及
[0050]通過使所述工作臺與所述切斷機(jī)構(gòu)相對移動從而使用所述切斷機(jī)構(gòu)沿著切斷線來切斷所述被切斷物的工序，
[0051]其特征在于，包括:
[0052]向設(shè)置于所述切斷機(jī)構(gòu)的驅(qū)動機(jī)構(gòu)供給電流的工序；
[0053]通過所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)使旋轉(zhuǎn)軸和旋轉(zhuǎn)刃進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的工序，所述旋轉(zhuǎn)刃通過第一夾具和第二夾具被夾住從而被安裝，所述第一夾具在所述旋轉(zhuǎn)軸的前端部中被設(shè)置于所述切斷機(jī)構(gòu)那一側(cè)，所述第二夾具從所述第一夾具來看被設(shè)置于所述前端部那一側(cè)；
[0054]從冷卻水送出機(jī)構(gòu)向流量調(diào)整單元送出冷卻水的工序；
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