陶瓷環(huán)安裝和取出工裝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種陶瓷環(huán)安裝和取出工裝，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備反應(yīng)腔中陶瓷環(huán)的安裝和取出，屬于半導(dǎo)體薄膜沉積應(yīng)用及制備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備腔內(nèi)結(jié)構(gòu)變得越來(lái)越復(fù)雜，這就要求陶瓷襯套的結(jié)構(gòu)相應(yīng)的發(fā)生變化。隨著半圓形陶瓷環(huán)的出現(xiàn)，陶瓷襯套徒手取出時(shí)外張變形，因此就不可避免地存在陶瓷環(huán)無(wú)法徒手取出或取出過(guò)程中與側(cè)壁摩擦的問(wèn)題。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明以解決上述問(wèn)題為目的，主要解決現(xiàn)有技術(shù)中陶瓷環(huán)沒(méi)有專用工裝進(jìn)行安裝和取出的技術(shù)問(wèn)題，而提供一種結(jié)構(gòu)合理、方便實(shí)用，安全快捷，拆卸便利，能不損傷陶瓷環(huán)及腔體側(cè)壁的工裝。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案:陶瓷環(huán)安裝和取出工裝，包括制有弧面的工裝支架。它還包括定位柱、握把、鋼絲線、連接柱及彈簧。上述工裝支架的前端制有臺(tái)階孔，彈簧放置在臺(tái)階孔大直徑的孔內(nèi)；上述定位柱與鋼絲線相連，將鋼絲線穿過(guò)工裝支架的臺(tái)階孔，并使定位柱穿入彈簧進(jìn)入工裝支架的臺(tái)階孔內(nèi)，將若干個(gè)定位柱與鋼絲線分別固定好后，再將鋼絲線統(tǒng)一與連接柱相連，連接柱與握把連接并固定，上述握把嵌入工裝支架后部的方槽中。
[0005]當(dāng)拉伸握把時(shí)，連接柱與鋼絲線帶動(dòng)定位柱向內(nèi)收縮，將工裝對(duì)準(zhǔn)陶瓷件的抽氣孔，放開(kāi)握把后定位柱在彈簧的作用下伸入陶瓷環(huán)抽氣孔內(nèi)與孔咬合，此時(shí)雙手平端工裝支架將陶瓷環(huán)從腔體內(nèi)取出。
[0006]本發(fā)明的有益效果及特點(diǎn)在于:
[0007]結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，能不損傷陶瓷環(huán)及腔體側(cè)壁的工裝。使用此工裝，單人即可完成陶瓷環(huán)的取出和安裝。通過(guò)工裝可以方便、安全地實(shí)現(xiàn)陶瓷環(huán)安裝和取出，不會(huì)損傷各個(gè)部件。適用于多種規(guī)格的陶瓷環(huán)，操作簡(jiǎn)單，拆卸方便，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。
【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]圖2是本發(fā)明的剖面示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]實(shí)施例
[0011]參照?qǐng)D1和圖2，陶瓷環(huán)安裝和取出工裝，包括制有弧面9的工裝支架2。它還包括定位柱1、握把4、鋼絲線5、連接柱7及彈簧8。上述工裝支架2的前端制有臺(tái)階孔10，彈簧8放置在臺(tái)階孔10大直徑的孔內(nèi)；上述定位柱I與鋼絲線5相連，將鋼絲線5穿過(guò)工裝支架2的臺(tái)階孔10，并使定位柱I穿過(guò)彈簧8進(jìn)入工裝支架2的臺(tái)階孔10內(nèi)，將若干個(gè)定位柱I與鋼絲線5分別固定好后，將鋼絲線5統(tǒng)一與連接柱7相連，連接柱7與握把4連接并固定，上述握把4嵌入工裝支架2后部的方槽中。
[0012]所述握把4上制有凹槽6 ;
[0013]所述握把4的兩個(gè)側(cè)面還制有曲面3 ;
[0014]所述定位柱I與鋼絲線5的數(shù)量相匹配。
[0015]所述彈簧8與定位柱I的數(shù)量相匹配。
[0016]取出陶瓷環(huán)操作過(guò)程:單手握住握把4的凹槽6，手指自然貼合曲面，用力握緊手指將握把4向外拉伸，鋼絲線5帶動(dòng)定位柱I收縮，將工裝支架2的圓弧面9與陶瓷環(huán)內(nèi)圓弧面貼合，并且將收縮狀態(tài)的定位柱I與陶瓷環(huán)上的抽氣孔對(duì)正，對(duì)正后將手松開(kāi)握把4呈自由狀態(tài)，定位柱I在彈簧8的作用下插入陶瓷環(huán)抽氣孔，此時(shí)雙手握住工裝支架2的兩個(gè)側(cè)面，手指與曲面3貼合，雙手平穩(wěn)移動(dòng)工裝支架即可將陶瓷環(huán)取出。
[0017]安裝陶瓷環(huán)操作過(guò)程:將上述取出過(guò)程顛倒進(jìn)行，先握緊握把4，鋼絲線5帶動(dòng)定位柱I收縮，將工裝支架2的弧面與陶瓷環(huán)貼合，定位柱I與抽氣孔對(duì)正，松開(kāi)握把4后定位柱I在彈簧8的帶動(dòng)下與抽氣孔插和，雙手握住工裝支架2的兩側(cè)曲面3，雙手移動(dòng)工裝支架2即可實(shí)現(xiàn)陶瓷環(huán)的安裝。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種陶瓷環(huán)安裝和取出工裝，包括制有弧面的工裝支架，其特征在于:它還包括定位柱、握把、鋼絲線、連接柱及彈簧，上述工裝支架的前端制有臺(tái)階孔，彈簧放置在臺(tái)階孔大直徑的孔內(nèi)；上述定位柱與鋼絲線相連，將鋼絲線穿過(guò)工裝支架的臺(tái)階孔，并使定位柱穿入彈簧進(jìn)入工裝支架的臺(tái)階孔內(nèi)，將若干個(gè)定位柱與鋼絲線分別固定好后，再將鋼絲線統(tǒng)一與連接柱相連，連接柱與握把連接并固定，上述握把嵌入工裝支架后部的方槽中。2.如權(quán)利要求1所述的陶瓷環(huán)安裝和取出工裝，其特征在于:所述握把上制有凹槽。3.如權(quán)利要求1所述的陶瓷環(huán)安裝和取出工裝，其特征在于:所述握把的兩個(gè)側(cè)面制有曲面。4.如權(quán)利要求1所述的陶瓷環(huán)安裝和取出工裝，其特征在于:所述定位柱與鋼絲線的數(shù)量相匹配。5.如權(quán)利要求1所述的陶瓷環(huán)安裝和取出工裝，其特征在于:所述彈簧與定位柱的數(shù)量相匹配。
【專利摘要】陶瓷環(huán)安裝和取出工裝，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備反應(yīng)腔中陶瓷環(huán)的安裝和取出。該工裝包括制有弧面的工裝支架。所述工裝支架的前端制有臺(tái)階孔，彈簧放置在臺(tái)階孔大直徑的孔內(nèi)；所述定位柱與鋼絲線相連，將鋼絲線穿過(guò)工裝支架的臺(tái)階孔，并使定位柱穿入彈簧進(jìn)入工裝支架的臺(tái)階孔內(nèi)，將定位柱與鋼絲線分別固定好后，再將鋼絲線統(tǒng)一與連接柱相連，連接柱與握把連接并固定；所述握把嵌入工裝支架后部的方槽中。當(dāng)拉伸握把時(shí)，連接柱與鋼絲線帶動(dòng)定位柱向內(nèi)收縮，將工裝對(duì)準(zhǔn)陶瓷件的抽氣孔，放開(kāi)握把后定位柱在彈簧的作用下伸入陶瓷環(huán)抽氣孔內(nèi)與孔咬合，此時(shí)雙手平端工裝支架將陶瓷環(huán)從腔體內(nèi)取出。本發(fā)明適用于多種規(guī)格的陶瓷環(huán)，操作簡(jiǎn)單，拆卸方便，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體鍍膜技術(shù)領(lǐng)域。
【IPC分類】B25B27/14
【公開(kāi)號(hào)】CN104924269
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510315852
【發(fā)明人】鄭旭東, 陳英男, 姜崴
【申請(qǐng)人】沈陽(yáng)拓荊科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年9月23日
【申請(qǐng)日】2015年6月10日