專利名稱：超高真空機(jī)械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
超高真空機(jī)械手
一、 技術(shù)領(lǐng)域-
本實(shí)用新型涉及超高真空設(shè)備，特別是超高真空用的抓取裝置。
二、 背景技術(shù)
超高真空技術(shù)是新材料合成，材料的物理化學(xué)性質(zhì)分析和宇宙開 發(fā)的基本環(huán)境。為了實(shí)現(xiàn)在超高真空環(huán)境中的各種分析研究，離不開 對(duì)樣品的傳輸和操縱，雖然真空環(huán)境中樣品的操縱幅度較小，但是要 求在大氣側(cè)操作來控制真空環(huán)境中的樣品，特別是通過機(jī)械手對(duì)樣進(jìn) 行操縱時(shí)，需要前后及旋轉(zhuǎn)，運(yùn)轉(zhuǎn)靈活且要保持真空環(huán)境的密封效果， 目前尚無較理想的機(jī)械手對(duì)樣品進(jìn)行抓取，同時(shí)可以在真空環(huán)境中任 意角度搖擺且大距離移動(dòng)。
三、 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的是克服上述不足問題，提供一種超高真空機(jī)械 手，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，實(shí)現(xiàn)在超高真空環(huán)境中對(duì)樣品進(jìn)行抓取和大角度大距 離移動(dòng)。
本實(shí)用新型為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案是超高真空機(jī)械 手，機(jī)械手外罩鉸接抓手，抓手通過二連桿與驅(qū)動(dòng)軸前端螺紋連接， 驅(qū)動(dòng)軸活動(dòng)套裝在驅(qū)動(dòng)管內(nèi)，驅(qū)動(dòng)管前端通過連接件固定連接機(jī)械手 外罩，連接件端面焊接波紋管一的一端，波紋管一的另一端與連接盤焊接固定，連接盤同時(shí)焊接波紋管二的一端，波紋管二的另一端固定 安裝在真空連接法蘭上，驅(qū)動(dòng)管同時(shí)套裝在波紋管一和波紋管二內(nèi)， 且驅(qū)動(dòng)管后端與波紋管三的一端固定連接，波紋管三通過支持管與波 紋管四固定連接成一體，且滑動(dòng)套裝在固定外筒內(nèi)，固定外筒上裝有 固定把手，固定把手底端鉸接活動(dòng)把手，活動(dòng)把手活動(dòng)端與波紋管四 外套裝有活動(dòng)筒連接，滑動(dòng)筒內(nèi)通過軸承安裝旋轉(zhuǎn)金具，旋轉(zhuǎn)金具與 波紋管四內(nèi)安裝的旋轉(zhuǎn)桿固定連接，貫穿驅(qū)動(dòng)管內(nèi)的驅(qū)動(dòng)軸后端置于 波紋管三內(nèi)，且后端端頭與旋轉(zhuǎn)桿固定連接，旋轉(zhuǎn)桿與旋轉(zhuǎn)金具固定 連接，旋轉(zhuǎn)金具端頭裝有限位旋鈕，活動(dòng)把手活動(dòng)端置于滑動(dòng)筒和限 位旋鈕之間的間隙處。
所述驅(qū)動(dòng)管一端固定安裝在連接件內(nèi)，連接件固定連接機(jī)械手外罩。
所述波紋管三與支持管通過刀口法蘭固定連接。
本實(shí)用新型采用四段波紋管構(gòu)造，實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境中的任意角 度搖擺，伸縮和抓放驅(qū)動(dòng)，搖擺的驅(qū)動(dòng)通過和真空連接法蘭連接的第 一段波紋管來實(shí)現(xiàn)。伸縮驅(qū)動(dòng)通過和第一段波紋管連接的第二段波紋 管來實(shí)現(xiàn)。第二段波紋管的長(zhǎng)度根據(jù)要進(jìn)行伸縮的距離來決定。第三 段波紋管通過刀口法蘭來完成密封，通過外部把手實(shí)現(xiàn)的伸縮驅(qū)動(dòng)可 以驅(qū)動(dòng)機(jī)械手前端手臂的張合，從而完成樣品的抓放驅(qū)動(dòng)，第四段波 紋管用來實(shí)現(xiàn)前端手臂的旋轉(zhuǎn)，和真空接觸的部件，全部采用不銹鋼 部件，有利于維持超高真空。采用焊接波紋管密封，即滿足放出氣體 少的要求，又使得搖擺，伸縮和直線驅(qū)動(dòng)順暢。采用金屬刀口法蘭，適合超高真空密封。構(gòu)造全部采用金屬部件，可耐高溫烘烤。
四、


圖l為本實(shí)用新型外觀結(jié)構(gòu)圖2為本實(shí)用新型剖視圖3為本實(shí)用新型機(jī)械手結(jié)構(gòu)示意圖4為本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)桿結(jié)構(gòu)示意圖5為本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)金具結(jié)構(gòu)示意圖。
五具體實(shí)施方式
如圖1、 2所示的超高真空機(jī)械手，機(jī)械手外罩2鉸接抓手1， 抓手1通過二連桿27與驅(qū)動(dòng)軸12前端螺紋連接，驅(qū)動(dòng)軸活動(dòng)套裝在 驅(qū)動(dòng)管13內(nèi)(如圖3所示)，驅(qū)動(dòng)管13前端固定安裝在連接件內(nèi)， 連接件固定連接機(jī)械手外罩，連接件端面焊接波紋管一3的一端，波 紋管一 1的另一端與連接盤14焊接固定，連接盤14同時(shí)焊接波紋管 二 4的一端，波紋管二 4的另一端固定安裝在真空連接法蘭5上，驅(qū) 動(dòng)管13同時(shí)套裝在波紋管一和波紋管二內(nèi)，且驅(qū)動(dòng)管后端與波紋管 三15的一端固定連接，波紋管三15外套裝有復(fù)位彈簧16，波紋管 三的另一端通過刀口法蘭17與支持管18固定連接，支持管18的另 一端與波紋管四19外套裝的滑動(dòng)筒20固定連接成一體，且滑動(dòng)套裝 在固定外筒21內(nèi)，固定外筒上裝有固定把手22，固定把手底端鉸接 活動(dòng)把手23，滑動(dòng)筒內(nèi)通過軸承安裝旋轉(zhuǎn)金具24 (如圖5)，旋轉(zhuǎn)金 具與波紋管四內(nèi)安裝的旋轉(zhuǎn)桿25 (如圖4)固定連接，貫穿驅(qū)動(dòng)管內(nèi) 的驅(qū)動(dòng)軸12后端置于波紋管三內(nèi)，且后端端頭與旋轉(zhuǎn)桿25固定連接，旋轉(zhuǎn)金具端頭裝有限位旋鈕26，活動(dòng)把手活動(dòng)端置于滑動(dòng)筒和限位 旋鈕之間的間隙處。
使用時(shí)真空連接法蘭和真空腔體的相應(yīng)法蘭連接后，完成超高真 空的密封。壓動(dòng)活動(dòng)把手的活動(dòng)端，驅(qū)動(dòng)波紋管三的伸縮驅(qū)動(dòng)，波紋 管三伸縮驅(qū)動(dòng)套裝在波紋管一和波紋管二內(nèi)的驅(qū)動(dòng)管運(yùn)動(dòng)，用來實(shí)現(xiàn) 機(jī)械手的伸縮驅(qū)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)軸的伸縮運(yùn)動(dòng)完成最前端機(jī)械手臂的張合驅(qū) 動(dòng)。旋轉(zhuǎn)限位旋鈕，使得波紋管四旋轉(zhuǎn)，從而驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)桿旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn) 桿帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸旋轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)最前端機(jī)械手臂的旋轉(zhuǎn)，固定螺釘可以固定 機(jī)械手的旋轉(zhuǎn)角度。
權(quán)利要求1、超高真空機(jī)械手，機(jī)械手外罩鉸接抓手，抓手通過二連桿與驅(qū)動(dòng)軸前端螺紋連接，其特征是驅(qū)動(dòng)軸活動(dòng)套裝在驅(qū)動(dòng)管內(nèi)，驅(qū)動(dòng)管前端通過連接件固定連接機(jī)械手外罩，連接件端面焊接波紋管一的一端，波紋管一的另一端與連接盤焊接固定，連接盤同時(shí)焊接波紋管二的一端，波紋管二的另一端固定安裝在真空連接法蘭上，驅(qū)動(dòng)管同時(shí)套裝在波紋管一和波紋管二內(nèi)，且驅(qū)動(dòng)管后端與波紋管三的一端固定連接，波紋管三通過支持管與波紋管四固定連接成一體，且滑動(dòng)套裝在固定外筒內(nèi)，固定外筒上裝有固定把手，固定把手底端鉸接活動(dòng)把手，活動(dòng)把手活動(dòng)端與波紋管四外套裝有活動(dòng)筒連接，滑動(dòng)筒內(nèi)通過軸承安裝旋轉(zhuǎn)金具，旋轉(zhuǎn)金具與波紋管四內(nèi)安裝的旋轉(zhuǎn)桿固定連接，貫穿驅(qū)動(dòng)管內(nèi)的驅(qū)動(dòng)軸后端置于波紋管三內(nèi)，且后端端頭與旋轉(zhuǎn)桿固定連接，旋轉(zhuǎn)桿與旋轉(zhuǎn)金具固定連接，旋轉(zhuǎn)金具端頭裝有限位旋鈕，活動(dòng)把手活動(dòng)端置于滑動(dòng)筒和限位旋鈕之間的間隙處。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空機(jī)械手，其特征是驅(qū)動(dòng)管一端固定安裝在連接件內(nèi)，連接件固定連接機(jī)械手外罩。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超高真空機(jī)械手，其特征是波紋管三與支持管通過刀口法蘭固定連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備。超高真空機(jī)械手，機(jī)械手外罩鉸接抓手，抓手通過二連桿與驅(qū)動(dòng)軸前端螺紋連接，驅(qū)動(dòng)軸活動(dòng)套裝在驅(qū)動(dòng)管內(nèi)，驅(qū)動(dòng)管前端通過連接件固定連接機(jī)械手外罩，連接件端面焊接波紋管一的一端，波紋管一的另一端和波紋管二分別焊接在連接盤的兩面，波紋管二的另一端固定在真空連接法蘭上，驅(qū)動(dòng)管同時(shí)套裝在波紋管一和波紋管二內(nèi)，且驅(qū)動(dòng)管后端與波紋管三的一端固定連接，波紋管三通過支持管與波紋管四固定連接成一體，且滑動(dòng)套裝在固定外筒內(nèi)，固定外筒上裝有固定把手，固定把手底端鉸接活動(dòng)把手。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境中的任意角度搖擺，伸縮和抓放驅(qū)動(dòng)。
文檔編號(hào)B25J9/06GK201410663SQ200920014370
公開日2010年2月24日 申請(qǐng)日期2009年6月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月4日
發(fā)明者郭方準(zhǔn) 申請(qǐng)人:大連齊維科技發(fā)展有限公司