多點鉆石工具的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明是涉及一種用于借由鉆石尖點刻劃玻璃基板或硅晶圓等脆性材料基板的多點鉆石工具。
【背景技術】
[0002]現(xiàn)有習知為了刻劃玻璃基板或硅晶圓，采用使用有刻劃輪、或單結晶鉆石的鉆石尖點的工具。針對玻璃基板，一直以來主要是采用相對于基板滾動的刻劃輪，但從提高刻劃后的基板強度等優(yōu)點來看，也被檢討使用固定刀刃的鉆石尖點。在專利文獻1、2中提及有用于刻劃藍寶石晶圓或氧化招晶圓(alumina wafer)等高硬度的基板的尖點刀具。在這些專利文獻中，使用有在角錐的棱線上設置有切割用尖點的工具、或前端成為圓錐的工具。此夕卜，在專利文獻3中，為了刻劃玻璃板而提及有一種刻劃裝置，該刻劃裝置示使用具有圓錐形前端的玻璃劃線具。
[0003]專利文獻1:日本特開2003-183040號公報
[0004]專利文獻2:日本特開2005-079529號公報
[0005]專利文獻3:日本特開2013-043787號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]由于若以現(xiàn)有習知的固定刀刃的工具進行刻劃則尖點將產(chǎn)生磨耗(磨損)，因此有必要變更尖點。在角錐形或圓錐形的工具中成為可使用的頂點的尖點為二個部位或最多四個部位。因此存在有如下的問題:當變更二個部位或四個部位的尖點時必須更換工具，且更換頻度高。此外，在利用工具進行的刻劃中，尖點必須以適切的角度接觸基板。然而，在現(xiàn)有習知的工具中，在變更尖點的情形時必須使工具繞軸方向旋轉，且不容易精度佳地調(diào)整該接觸角度。
[0007]本發(fā)明是有鑒于上述現(xiàn)有習知問題而完成，其目的在于提供一種即使在刻劃中所使用的尖點磨耗，也能夠容易地變更尖點位置并減少交換頻度的多點鉆石工具。
[0008]本發(fā)明的目的及解決其技術問題是采用以下技術方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種多點鉆石工具，具備:基座，呈旋轉對稱且至少外周的棱線部分以鉆石形成；及多個缺口，形成于該基座的棱線部分。
[0009]本發(fā)明的目的及解決其技術問題還可采用以下技術措施進一步實現(xiàn)。
[0010]前述的多點鉆石工具，其中，該各缺口，等間隔地形成于該基座的外周上。
[0011]前述的多點鉆石工具，其中，該基座，在其棱線部分形成有鉆石層。
[0012]前述的多點鉆石工具，其中，在該各缺口的兩端部分具有更微小缺口。
[0013]前述的多點鉆石工具，其中，該各缺口借由激光加工而形成。
[0014]前述的多點鉆石工具，其中，該各微小缺口借由機械加工而形成。
[0015]本發(fā)明與現(xiàn)有技術相比具有明顯的優(yōu)點和有益效果。借由上述技術方案，本發(fā)明多點鉆石工具至少具有下列優(yōu)點及有益效果:本發(fā)明借由在鉆石工具周圍形成有多個缺口，而能夠設置多個尖點。因此能夠獲得如下的效果:即使一個尖點磨耗(磨損)，也能夠借由使鉆石工具的固定角度改變而使用新的尖點，且能夠減少鉆石工具的交換頻度。進一步地，由于能夠在相對于基板使工具的安裝角度維持一定的狀態(tài)下變更尖點，因此能夠容易地調(diào)整尖點的接觸角度。
[0016]綜上所述，本發(fā)明是有關于一種即使因進行刻劃而使尖點磨耗，也能夠減少工具交換次數(shù)的多點鉆石工具。在鉆石工具(10)的基座(11)的外周上設置多個缺口(14?19)，以各缺口的端部作為尖點。鉆石工具(10)，使尖點接觸基板且不滾動地進行刻劃。在尖點因刻劃而磨耗的情形時，借由使鉆石工具(10)旋轉而將別的缺口的端部作為刻劃的尖點。借此能夠利用一個鉆石工具使用多個尖點，能夠減少交換頻度。本發(fā)明在技術上有顯著的進步，并具有明顯的積極效果，誠為一新穎、進步、實用的新設計。
[0017]上述說明僅是本發(fā)明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。
【附圖說明】
[0018]圖1A及圖1B是本發(fā)明的第1實施形態(tài)的多點鉆石工具的主視圖及側視圖。
[0019]圖2是表不本實施形態(tài)的多點鉆石工具的缺口的第一實施例的放大圖。
[0020]圖3是表示本實施形態(tài)的多點鉆石工具的缺口的第二實施例的放大圖。
[0021]圖4A是表示使用本發(fā)明的第1實施形態(tài)的多點鉆石工具進行刻劃的主視圖。
[0022]圖4B是表示使用本發(fā)明的第1實施形態(tài)的多點鉆石工具進行刻劃的側視圖。
[0023]圖5A及圖5B是表示本發(fā)明的第2實施形態(tài)的多點鉆石工具的主視圖、及使用該多點鉆石工具進行刻劃的圖。
[0024]圖6A及圖5B是表示本發(fā)明的第3實施形態(tài)的多點鉆石工具的主視圖、及使用該多點鉆石工具進行刻劃的圖。
[0025]10、30、40:多點鉆石工具
[0026]11、31、41:基座
[0027]12、32、42:貫通孔
[0028]13、33、43:研磨面
[0029]14 ?19、34 ?37、44 ?47:缺口
[0030]44a、44b、45a、45b、46a、46b、47a、47b:微小缺口
【具體實施方式】
[0031]為更進一步闡述本發(fā)明為達成預定發(fā)明目的所采取的技術手段及功效，以下結合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本發(fā)明提出的多點鉆石工具其【具體實施方式】、結構、特征及其功效，詳細說明如后。
[0032]接著，針對本發(fā)明的第1實施形態(tài)進行說明。圖1A及圖1B是表示本實施形態(tài)的多點鉆石工具(以下，簡稱鉆石工具)10的主視圖及側視圖。該鉆石工具10是由單結晶鉆石構成的旋轉對稱形的圓板的基座11，且在其中心具有貫通孔12。單結晶鉆石的基座11的直徑，例如為2mm?20mm。如圖1A的側視圖所示，從圓周部分的兩側研磨成V字形而成為由棱線13a與傾斜面13b構成的刃前端部13。而且如圖示般在刃前端部13的六個部位，借由激光加工而形成缺口 14?19。圖2是表不缺口 14的第一實施例的缺口 14A的放大圖。如圖2所示，對由實線與一點鏈線所示的原本的圓周部形成如圖示般的缺口 14A，且以棱線13a與缺口 14A相交的部分作為尖點P1。從該尖點P1起例如以將相對于切線的角度α設為35°的方式切至例如約5 μπι的深度，進一步從該處起相對于原切線例如以3.5°的角度切開，而形成缺口 14Α。關于其他的五個缺口也相同，并將棱線13a與缺口 15A?19A的交點分別設為尖點P2?P6。
[0033]圖3是表示缺口 14的第二實施例的缺口 14B的放大圖。在該情形，從尖點P1起例如以將相對于切線的角度α設為35°的方式切至深度10 μπι后，呈階段狀地切開，而構成缺口。關于其他的五個缺口也相同，并將棱線13a與缺口 15B?19B的交點分別設為尖點P2?P6。
[0034]針對使用該實施形態(tài)的鉆石工具10進行刻劃的情形，使用圖4A、圖4B進行說明。此外，在圖4A、圖4B中夸張放大表示圓周部的缺口，而圖4A是從正面(主視)觀察下的示意圖，圖4B是從圖4A的右側觀察下的示意圖。在進行刻劃時，如圖4A(a)、圖4B(