本發(fā)明屬于碳化硅材料制造，特別涉及一種應(yīng)用在碳化硅材料制造系統(tǒng)的閘門開關(guān)裝置以及對應(yīng)的閘門控制方法。

背景技術(shù)：

1、碳化硅是一種具有代表性的陶瓷材料，由于其優(yōu)異的物理、化學(xué)和電學(xué)性能，因此在整個工業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

2、近年來，隨著使用碳化硅材料的半導(dǎo)體加工部件的開發(fā)積極進(jìn)展，碳化硅材料的重要性日益增加。特別地，碳化硅材料由于其高等離子體耐受性而被廣泛用作半導(dǎo)體工藝部件中用于蝕刻工藝的部件。用于半導(dǎo)體蝕刻工藝零件的碳化硅材料是制造碳化硅的傳統(tǒng)方法。由于用這種方法不能滿足質(zhì)量和性能，因此現(xiàn)有技術(shù)中，常常采用化學(xué)氣相沉積法制造。

3、化學(xué)氣相沉積碳化硅采用含si氣體如sih4、sicl2、sicl4和含c氣體如c2h2、ch4、c3h8等的混合物作為原料氣體，或ch3sicl3、ch3sih3，(ch3)3sih)等。有一些使用單片原材料的沉積方法，通過化學(xué)氣相沉積制造碳化硅材料具有生產(chǎn)率低的缺點，因為該過程是在間歇式的化學(xué)氣相沉積爐中進(jìn)行的。然而，如果要將間歇式的化學(xué)氣相沉積爐改進(jìn)為連續(xù)式的化學(xué)氣相沉積爐，則需要解決反應(yīng)容器的閘門控制問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了解決所述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明第一方面公開了一種閘門控制方法，應(yīng)用于碳化硅材料的化學(xué)氣相沉積，包括

2、響應(yīng)于罩殼內(nèi)第一腔體和/或第二腔體的氣氛環(huán)境構(gòu)建完成所產(chǎn)生的第一信號，驅(qū)動閘門自第一位置運動至第二位置，暴露所述罩殼上位于第一腔體和第二腔體之間的開口；

3、響應(yīng)于反應(yīng)容器自第一腔體運動至第二腔體的指定位置后所產(chǎn)生的第二信號，驅(qū)動閘門自第二位置運動至第一位置，封閉所述罩殼上位于第一腔體和第二腔體之間的開口。

4、進(jìn)一步的技術(shù)方案還可以是，所述第一信號包括：

5、第一準(zhǔn)備信號，所述第一準(zhǔn)備信號在第一腔體和第二腔體內(nèi)的氣氛環(huán)境構(gòu)建完成且第一腔體和第二腔體內(nèi)的氣氛環(huán)境相同時生成；

6、第一完成信號，所述第一完成信號在反應(yīng)容器完成反應(yīng)后且第二腔體內(nèi)的氣氛環(huán)境構(gòu)建完成時生成。

7、進(jìn)一步的技術(shù)方案還可以是，所述控制方法還包括：

8、響應(yīng)于所述第一信號，驅(qū)動第二輸送組件自第四位置運動至第三位置，以使得第二輸送組件與罩殼內(nèi)的第一輸送組件形成配合；

9、響應(yīng)于所述第二信號，驅(qū)動第二輸送組件自第三位置運動至第四位置，解除第二輸送組件和第一輸送組件之間的配合。

10、進(jìn)一步的技術(shù)方案還可以是，當(dāng)所述閘門位于第一位置時，

11、檢測第一腔體和/或第二腔體的氣壓，并生成對應(yīng)的氣壓數(shù)據(jù)；

12、根據(jù)氣壓數(shù)據(jù)與對應(yīng)的目標(biāo)氣壓數(shù)據(jù)的對比結(jié)果，生成氣壓反饋信息；

13、響應(yīng)于氣壓反饋信息，驅(qū)動閘門朝著第二位置指向第一位置的方向繼續(xù)移動設(shè)定距離；

14、將所述驅(qū)動閘門的當(dāng)前所在位置設(shè)定為新的第一位置。

15、進(jìn)一步的技術(shù)方案還可以是，沿著所述反應(yīng)容器移動的方向，所述罩殼形成有依次連接的準(zhǔn)備腔、反應(yīng)腔和熱處理腔；

16、當(dāng)所述閘門設(shè)置在準(zhǔn)備腔和反應(yīng)腔之間時，所述第一腔體為所述準(zhǔn)備腔，所述第二腔體為所述反應(yīng)腔，響應(yīng)于所述第一準(zhǔn)備信號，驅(qū)動閘門移動以連通所述準(zhǔn)備腔和所述反應(yīng)腔；

17、當(dāng)所述閘門設(shè)置在反應(yīng)腔和熱處理腔之間時，所述第一腔體為所述反應(yīng)腔，所述第二腔體為所述熱處理腔，響應(yīng)于所述第一完成信號，驅(qū)動閘門移動以連通所述反應(yīng)腔和所述熱處理腔。

18、本發(fā)明第二方面還公開了一種閘門開關(guān)裝置，應(yīng)用于碳化硅材料制造設(shè)備，包括：

19、閘門，所述閘門能夠抵在所述制造設(shè)備的罩殼上，用于密封所述罩殼的開口以將所述制造設(shè)備的第一腔體和第二腔體相互隔絕；

20、驅(qū)動組件，與所述閘門連接，用于驅(qū)動閘門在第一位置和第二位置之間移動；

21、氣氛檢測組件，設(shè)置在所述罩殼內(nèi)，用于檢測所述第一腔體和第二腔體內(nèi)的氣氛環(huán)境；

22、位置檢測組件，用于檢測所述制造設(shè)備的反應(yīng)容器的位置；

23、控制組件，分別與所述驅(qū)動組件、位置檢測組件和氣氛檢測組件電連連接；

24、所述閘門位于第一位置時，封閉所述罩殼的開口，以隔絕所述第一腔體和第二腔體；

25、所述閘門位于第二位置時，暴露所述罩殼的開口，以連通所述第一腔體和第二腔體。

26、進(jìn)一步的技術(shù)方案還可以是，所述驅(qū)動組件包括：

27、導(dǎo)向件，與所述閘門連接，用于導(dǎo)向所述閘門移動；

28、外殼，所述外殼與所述罩殼連接形成相比密閉的移動腔，所述閘門在所述移動腔內(nèi)移動；

29、驅(qū)動設(shè)備，與所述閘門連接，用于驅(qū)動所述閘門移動。

30、進(jìn)一步的技術(shù)方案還可以是，所述閘門包括：

31、抵接面，用于與所述罩殼抵接，所述抵接面與所述罩殼上相對的一面相互平行；

32、沿著第二位置朝向第一位置所在的方向，所述抵接面朝著所述閘門所在的一側(cè)傾斜。

33、進(jìn)一步的技術(shù)方案還可以是，所述第一位置和所述第二位置的連線平行于水平面。

34、進(jìn)一步的技術(shù)方案還可以是，還包括：

35、氣壓檢測組件，設(shè)置在所述罩殼內(nèi)，用于檢測所述第一腔體和第二腔體內(nèi)的氣壓，所述氣壓檢測組件與所述控制組件電連接。

36、進(jìn)一步的技術(shù)方案還可以是，所述罩殼形成合圍結(jié)構(gòu)以構(gòu)成所述第一腔體和第二腔體；

37、所述抵接面的四周均抵接在所述罩殼上。

38、進(jìn)一步的技術(shù)方案還可以是，還包括：

39、第二輸送組件，用于與設(shè)置在所述罩殼內(nèi)的第一輸送組件形成配合，所述第二輸送組件能夠在第三位置和和第二位置之間來回移動；

40、當(dāng)所述第二輸送組件位于第三位置時，所述第二輸送組件與所述第一輸送組件連接配合；

41、當(dāng)所述第二輸送組件位于第四位置時，所述第二輸送組件與所述第一輸送組件解除配合。

42、進(jìn)一步的技術(shù)方案還可以是，還包括：

43、引導(dǎo)組件，與所述第二輸送組件連接，用于引導(dǎo)所述第二輸送組件移動；

44、切換組件，與所述第二輸送組件連接，用于驅(qū)動第二輸送組件移動。

45、該閘門控制方法以及閘門開關(guān)裝置采用了自動化控制策略，通過基于氣氛檢測組件產(chǎn)生的第一信號和基于位置檢測組件產(chǎn)生的第二信號，驅(qū)動組件能夠精確控制閘門的運動。這種基于信號的自動化控制方法顯著提高了工作效率。首先，通過氣氛檢測組件，能夠?qū)崟r監(jiān)測腔體內(nèi)的氣氛環(huán)境，并控制閘門的開閉狀態(tài)，從而優(yōu)化工藝過程和確保產(chǎn)品質(zhì)量。其次，通過位置檢測組件提供了反應(yīng)容器在腔體間的精確位置信息，使得閘門的運動能夠精確響應(yīng)，確保了反應(yīng)容器在腔體間的高效且準(zhǔn)確輸送。

技術(shù)特征：

1.一種閘門控制方法，應(yīng)用于碳化硅材料的化學(xué)氣相沉積，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘門控制方法，其特征在于，所述第一信號包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘門控制方法，其特征在于，所述控制方法還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的閘門控制方法，其特征在于，當(dāng)所述閘門位于第一位置時，

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的閘門控制方法，其特征在于，沿著所述反應(yīng)容器移動的方向，所述罩殼形成有依次連接的準(zhǔn)備腔、反應(yīng)腔和熱處理腔；

6.一種閘門開關(guān)裝置，應(yīng)用于碳化硅材料制造設(shè)備，其特征在于，包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的閘門開關(guān)裝置，其特征在于，所述驅(qū)動組件包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的閘門開關(guān)裝置，其特征在于，所述閘門包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的閘門開關(guān)裝置，其特征在于，所述第一位置和所述第二位置的連線平行于水平面。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的閘門開關(guān)裝置，其特征在于，還包括：

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的閘門開關(guān)裝置，其特征在于，所述罩殼形成合圍結(jié)構(gòu)以構(gòu)成所述第一腔體和第二腔體；

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的閘門開關(guān)裝置，其特征在于：還包括：

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的閘門開關(guān)裝置，其特征在于，還包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于碳化硅材料制造技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種閘門控制方法以及閘門開關(guān)裝置。閘門控制方法，包括響應(yīng)于罩殼內(nèi)第一腔體和/或第二腔體的氣氛環(huán)境構(gòu)建完成所產(chǎn)生的第一信號，驅(qū)動閘門自第一位置運動至第二位置，暴露所述罩殼上位于第一腔體和第二腔體之間的開口；響應(yīng)于反應(yīng)容器自第一腔體運動至第二腔體的指定位置后所產(chǎn)生的第二信號，驅(qū)動閘門自第二位置運動至第一位置，封閉所述罩殼上位于第一腔體和第二腔體之間的開口。本發(fā)明中的閘門控制方法以及閘門開關(guān)裝置，能夠基于氣氛檢測組件所產(chǎn)生的第一信號，以及基于位置檢測組件所產(chǎn)生的第二信號，通過驅(qū)動組件驅(qū)動閘門運動，從而實現(xiàn)了自動化控制，能夠有效地提高了工作效率。

技術(shù)研發(fā)人員：樸鐘熏,崔海珍,金錫津
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州精材半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2