專利名稱：掩模板樣品橫斷面切割工具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及半導體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種掩模板樣品橫斷面切割工具。
背景技術(shù)：
在半導體的生產(chǎn)工藝中，在對掩模板樣品進行檢驗時，為了揭示掩模板樣品的橫截面的觀察圖形區(qū)域的質(zhì)量，需要對掩模板樣品的橫斷面進行切割。由于掩模板樣品的空白區(qū)域的厚度遠大于晶圓的厚度。因此，為了使得掩模板樣品被順利切割，刀具在掩模板樣品上的切割長度越長越好，但是刀具是不能夠碰到需要觀察的觀察圖形區(qū)域的，也就是說，一旦刀具塊到位于掩模板樣品中部的觀察圖形區(qū)域時，刀具要離開掩模板樣品，等跳過該觀察圖形區(qū)域后再繼續(xù)切割掩模板樣品。現(xiàn)有的切割方法，需要人為觀察切割的位置。這方法不但容易碰傷所述觀察圖形區(qū)域，而且造成切割的斷面不統(tǒng)一。因此，如何提供一種不需要人為確定切割位置的掩模板樣品橫斷面切割工具是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個技術(shù)問題。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種掩模板樣品橫斷面切割工具，在每次切割過程中，不需要人為觀察確定切割位置，即可以實現(xiàn)掩模板樣品的切割，不但可以避免刀具碰傷掩模板樣品上的需要觀察的切割區(qū)域，而且可以實現(xiàn)統(tǒng)一一致的切割，顯著提高了切割效率和精度。為了達到上述的目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案:—種掩模板樣品橫斷面切割工具，包括底板、兩塊條狀墊片、橫梁、刀具驅(qū)動機構(gòu)、刀具以及掩模板樣品固定機構(gòu)，所述橫梁架設(shè)于所述底板上，所述兩塊條狀墊片沿所述橫梁的縱向分別安裝于所述橫梁的兩端下方，所述掩模板樣品通過所述掩模板樣品固定機構(gòu)安裝于所述底板上，所述兩塊條狀墊片之間的間隙與所述掩模板樣品上的觀察圖形區(qū)域相對應，通過帶動所述刀具驅(qū)動機構(gòu)沿所述橫梁移動實現(xiàn)刀具對所述掩模板樣品的切割。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述橫梁的一側(cè)表面設(shè)有用于設(shè)定所述條狀墊片位置的第二標尺，所述底板上設(shè)有用于設(shè)定所述掩模板樣品位置的第一標尺，且所述第二標尺和所述第一標尺平行設(shè)置且兩者的刻度位置對應。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述刀具包括刀片、刀軸以及緊固螺釘，所述刀軸的一端設(shè)有供所述刀片穿越的槽孔，所述刀片的一端穿設(shè)于所述槽孔內(nèi)，所述刀片通過所述緊固螺釘與所述刀軸固定連接。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述刀具驅(qū)動機構(gòu)包括框架、至少兩個滾珠、頂塊、頂桿以及彈簧，所述框架套設(shè)于所述橫梁及條狀墊片的外側(cè)，所述框架上與所述橫梁相接觸的表面設(shè)有滾珠，所述框架靠近底板的一側(cè)設(shè)有供所述刀具的所述刀軸穿越的通孔，所述刀軸的另一端通過所述頂桿與位于所述框架內(nèi)的所述頂塊固定連接，所述彈簧套設(shè)于所述頂桿的外側(cè)，所述框架通過所述彈簧將所述頂塊頂向所述橫梁，所述頂塊上與所述橫梁或者條狀墊片相接觸的表面設(shè)有另一滾珠。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述刀具驅(qū)動機構(gòu)還包括手柄，所述手柄設(shè)置于所述框架遠離底板的一端。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述框架上與所述橫梁相接觸的表面設(shè)有兩個相間隔的滾珠，所述頂塊上與所述橫梁相接觸的表面設(shè)有一滾珠，設(shè)于所述頂塊上的滾珠與所述兩個相間隔的滾珠的距離相等。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述掩模板樣品固定機構(gòu)包括兩對滑動鎖緊機構(gòu)，每個滑動鎖緊機構(gòu)包括滑塊和鎖緊件，所述底板上開設(shè)有與所述滑塊相匹配的滑槽，所述滑塊通過所述鎖緊件固定于所述底板的所述滑槽內(nèi)。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述滑槽與所述橫梁相互垂直。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述第一標尺的兩端分別通過連接板與所述底板活動連接。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述兩塊條狀墊片的相對端分別設(shè)有導向坡。本實用新型提供的掩模板樣品橫斷面切割工具，通過將所述兩塊條狀墊片之間的間隙與所述掩模板樣品上的觀察圖形區(qū)域相對應，通過帶動所述刀具驅(qū)動機構(gòu)沿所述橫梁移動實現(xiàn)刀具對所述掩模板樣品的切割，因此，在每次切割過程中，不需要人為觀察確定切割位置，即可以實現(xiàn)掩模板樣品的切割，不但可以避免刀具碰傷掩模板樣品上的需要觀察的切割區(qū)域，而且可以實現(xiàn)統(tǒng)一一致的切割，顯著提高了切割效率和精度。

本實用新型的掩模板樣品橫斷面切割工具由以下的實施例及附圖給出。圖1和圖2是本實用新型的一實施例的掩模板樣品橫斷面切割工具的兩種狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型一實施例的刀具驅(qū)動機構(gòu)和橫梁以及墊片的組裝示意圖；圖中，1-底板、2-條狀墊片、21-導向坡、3-橫梁、4-刀具驅(qū)動機構(gòu)、41-框架、42-滾珠、43-頂塊、44-彈簧、45-手柄、5-刀具、51-刀片、52-刀軸、6-滑槽、7-掩模板樣品、71-觀察圖形區(qū)域、8-第一標尺、9-第二標尺、10-滑塊、11-鎖緊件、12-連接板、13-支撐架、14-矩形框、15-鎖緊螺釘。
具體實施方式
以下將對本實用新型的掩模板樣品橫斷面切割工具作進一步的詳細描述。下面將參照附圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu)選實施例，應該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型而仍然實現(xiàn)本實用新型的有益效果。因此，下列描述應當被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應當認為在任何實際實施例的開發(fā)中，必須作出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應當認為這種開發(fā)工作可能是復雜和耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對本實用新型的具體實施方式
作進一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。請參閱圖1 3，其中，圖1和圖2是本實用新型的一實施例的掩模板樣品橫斷面切割工具的兩種狀態(tài)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實用新型一實施例的刀具驅(qū)動機構(gòu)和橫梁以及墊片的組裝示意圖。這種掩模板樣品橫斷面切割工具，包括底板1、兩塊條狀墊片2、橫梁
3、刀具驅(qū)動機構(gòu)4、刀具5以及掩模板樣品固定機構(gòu)，所述橫梁3架設(shè)于所述底板I上，所述兩塊條狀墊片2沿所述橫梁3的縱向分別安裝于所述橫梁3的兩端下方，所述掩模板樣品7通過所述掩模板樣品固定機構(gòu)安裝于所述底板I上，所述兩塊條狀墊片2之間的間隙與所述掩模板樣品7上的觀察圖形區(qū)域71相對應，帶動所述刀具驅(qū)動機構(gòu)4沿所述橫梁3移動可以實現(xiàn)刀具5對所述掩模板樣品7的切割。在刀具驅(qū)動機構(gòu)4沿橫梁3的整個移動過程中，由于一側(cè)條狀墊片2的緣故，刀具能夠?qū)ρ谀０鍢悠?上觀察圖形區(qū)域71的一側(cè)空白區(qū)域進行切割，當?shù)毒唑?qū)動機構(gòu)4移動到兩塊條狀墊片2之間的間隙時，刀具5會上升并與掩模板樣品7保持非接觸狀態(tài)；當?shù)毒唑?qū)動機構(gòu)4離開兩塊條狀墊片2之間的間隙時，刀具5會由于另一條狀墊片2存在的緣故而下降，重新進行切割，從而實現(xiàn)對掩模板樣品7上觀察圖形區(qū)域71的另一側(cè)空白區(qū)域的切割，從而，可以在切割過程中，不需要人為觀察即可以精確確定切割位置，實現(xiàn)掩模板樣品的切割，不但可以避免刀具5碰傷掩模板樣品7上的觀察圖形區(qū)域71，而且可以實現(xiàn)統(tǒng)一一致的切割，進而顯著提高了切割效率和精度。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述底板I上設(shè)有用于設(shè)定所述掩模板樣品7位置的第一標尺8，所述橫梁3的一側(cè)表面設(shè)有用于設(shè)定所述條狀墊片2位置的第二標尺9，且所述第二標尺9和所述第一標尺8平行設(shè)置且兩者的刻度位置對應。通過設(shè)置第一標尺8可以知曉掩模板樣品7的安裝位置。通過設(shè)置第二標尺9可以根據(jù)掩模板樣品7的安裝位置對應掩模板樣品7上的觀察圖形區(qū)域71安裝兩塊條狀墊片2，使得兩塊條狀墊片2之間的間隙與所述觀察圖形區(qū)域相對應。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述刀具5包括刀片51、刀軸52以及緊固螺釘53，所述刀軸52的一端設(shè)有供所述刀片51穿越的槽孔(未標示)，所述刀片51的一端(本實施例為上端)穿設(shè)于所述槽孔內(nèi)，所述刀片51通過所述緊固螺釘53與所述刀軸52固定連接。也就是說，所述刀片51的上端活動地穿設(shè)于刀軸52內(nèi)，通過緊固螺釘53固定刀片51的高度。請重點參閱圖3,并請結(jié)合圖1和圖2,所述刀具驅(qū)動機構(gòu)4包括框架41、至少兩個滾珠42、頂塊43、頂桿(未圖示)以及彈簧44，所述框架41套設(shè)于所述橫梁3或者所述橫梁3及條狀墊片2的外側(cè)，所述框架41上與所述橫梁3相接觸的表面設(shè)有滾珠42，通過設(shè)置滾珠42可以減少框架41和橫梁3之間的摩擦系數(shù)，從而便于實現(xiàn)兩者之間的滑動，所述框架41靠近底板的一側(cè)設(shè)有供所述刀具5的刀軸52穿越的通孔，所述刀軸52的另一端通過所述頂桿與位于所述框架41內(nèi)的頂塊43固定連接，所述彈簧44套設(shè)于所述頂桿的外側(cè)，所述框架41通過所述彈簧44將所述頂塊43頂向所述橫梁3，所述頂塊43上與所述橫梁3或條狀墊片2相接觸的表面設(shè)有另一滾珠42，通過設(shè)置另一滾珠42可以減少及頂塊43和橫梁45或者條狀墊片2之間摩擦系數(shù)，便于兩者之間的滑動。上述結(jié)構(gòu)的刀具驅(qū)動機構(gòu)4中，刀具5會隨著橫梁3下條狀墊片2的存在與否，進行上下移動。在本實施例中，所述刀具驅(qū)動機構(gòu)4還包括手柄45，所述手柄45設(shè)置于所述框架
41遠離底板的一端。通過設(shè)置手柄45，可以便于操作人員握持，操作人員通過移動手柄45驅(qū)動刀具51對掩模板樣品7進行切割。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述框架41上與所述橫梁3相接觸的表面設(shè)有兩個相間隔的滾珠42，所述頂塊43上與所述橫梁3相接觸的表面設(shè)有一滾珠42，設(shè)于所述頂塊43上的滾珠42與所述兩個相間隔的滾珠42的距離相等。如此設(shè)置，可以使得框架41橫梁3之間以及頂塊43與橫梁3或條狀墊片2之間的滑動更加平穩(wěn)。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述掩模板樣品固定機構(gòu)包括兩對滑動鎖緊機構(gòu)，每個滑動鎖緊機構(gòu)包括滑塊10和鎖緊件11，所述底板I上開設(shè)有與所述滑塊10相匹配的滑槽6，所述滑塊10通過所述鎖緊件11固定于所述底板I的所述滑槽6內(nèi)。該掩模板樣品固定機構(gòu)結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可以實現(xiàn)對掩模板樣品7的固定。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述滑槽6與所述橫梁3相互垂直，從而，可以使結(jié)構(gòu)更加緊湊，外觀更加美觀、整齊。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述第一標尺8的兩端分別通過連接板12與所述底板I活動連接。由于第一標尺8通過連接板12與底板I活動連接，例如鉸鏈連接或者銷連接，因此，在安裝掩模板樣品7之前，可以將第一標尺8轉(zhuǎn)動移開，在掩模板樣品7安裝好后，可以將第一標尺8移動到掩模板樣品7上方，從而可以確定掩模板樣品7上觀察圖形區(qū)域的位置，以利于后續(xù)條狀墊片2的安裝。優(yōu)選的，在上述的掩模板樣品橫斷面切割工具中，所述兩塊條狀墊片2的相對端分別設(shè)有導向坡21。通過設(shè)置導向坡21，可以使得框架41沿橫梁3在條狀墊片2變化的地方順利進行移動。本實施例中，具體的，所述橫梁3通過兩根支撐架13架設(shè)于所述底板上，所述橫梁3的兩端分別通過墊片鎖定機構(gòu)將條狀墊片2鎖定于橫梁3下方。所述墊片鎖定機構(gòu)包括矩形框14和鎖緊螺釘15，所述條狀墊片2和橫梁3由下至上穿設(shè)于所述矩形框14內(nèi)，通過所述鎖緊螺釘15將橫梁3和條狀墊片2固定在矩形框14內(nèi)。所述矩形框14與橫梁3、支撐架13連成一體。請繼續(xù)參閱圖1 3，本實用新型的掩模板樣品橫斷面切割工具的使用方法如下:首先，安裝掩模板樣品7 ；接著，轉(zhuǎn)動第一標尺8,如圖1所不,使得第一標尺8靠近掩模板樣品7,確定掩模板樣品7上觀察圖形區(qū)域71對應第一標尺8的刻度位置；其次，安裝兩條狀墊片2，如圖2所示，根據(jù)掩模板樣品7上觀察圖形區(qū)域71對應第一標尺8的刻度位置，通過第二標尺9實現(xiàn)對條狀墊片的精確安裝，使得兩條狀墊片2之間的間隙正對著掩模板樣品7上的觀察圖形區(qū)域71，轉(zhuǎn)動并移開第一標尺8 ；接著，移動刀具驅(qū)動機構(gòu)4至橫梁3的一端，使框架41內(nèi)同時穿過橫梁3和條狀墊片2，松開緊固螺釘53并調(diào)節(jié)刀片51的高度，使之能切到掩模板樣品7的表面，鎖緊緊固螺釘53 ；[0042]然后，移動刀具驅(qū)動機構(gòu)4，使刀具驅(qū)動機構(gòu)4沿著橫梁3移動，在移動過程中完成對掩模板樣品7上觀察圖形區(qū)域71的兩側(cè)的空白區(qū)域進行切割；最后，取下掩模板樣品7后沿著其切割面掰開，即實現(xiàn)了掩模板樣品7的橫斷面的切割，從而可以進行后續(xù)檢測工藝。綜上所述，本實用新型提供的掩模板樣品橫斷面切割工具，通過將所述兩塊條狀墊片之間的間隙與所述掩模板樣品上的觀察圖形區(qū)域相對應，通過帶動所述刀具驅(qū)動機構(gòu)沿所述橫梁移動實現(xiàn)刀具對所述掩模板樣品的切割，因此，在每次切割過程中，不需要人為觀察確定切割位置，即可以實現(xiàn)掩模板樣品的切割，不但可以避免刀具碰傷掩模板樣品上的需要觀察的切割區(qū)域，而且可以實現(xiàn)統(tǒng)一一致的切割，顯著提高了切割效率和精度。
權(quán)利要求1.一種掩模板樣品橫斷面切割工具，其特征在于，包括底板、兩塊條狀墊片、橫梁、刀具驅(qū)動機構(gòu)、刀具以及掩模板樣品固定機構(gòu)，所述橫梁架設(shè)于所述底板上，所述兩塊條狀墊片沿所述橫梁的縱向分別安裝于所述橫梁的兩端下方，所述掩模板樣品通過所述掩模板樣品固定機構(gòu)安裝于所述底板上，所述兩塊條狀墊片之間的間隙與所述掩模板樣品上的觀察圖形區(qū)域相對應，通過帶動所述刀具驅(qū)動機構(gòu)沿所述橫梁移動實現(xiàn)刀具對所述掩模板樣品的切割。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板樣品橫斷面切割工具，其特征在于，所述橫梁的一側(cè)表面設(shè)有用于設(shè)定所述條狀墊片位置的第二標尺，所述底板上設(shè)有用于設(shè)定所述掩模板樣品位置的第一標尺，所述第二標尺和所述第一標尺平行設(shè)置且兩者的刻度位置對應。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的掩模板樣品橫斷面切割工具，其特征在于，所述刀具包括刀片、刀軸以及緊固螺釘，所述刀軸的一端設(shè)有供所述刀片穿越的槽孔，所述刀片的一端穿設(shè)于所述槽孔內(nèi)，所述刀片通過所述緊固螺釘與所述刀軸固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的掩模板樣品橫斷面切割工具，其特征在于，所述刀具驅(qū)動機構(gòu)包括框架、至少兩個滾珠、頂塊、頂桿以及彈簧，所述框架套設(shè)于所述橫梁及條狀墊片的外側(cè)，所述框架上與所述橫梁相接觸的表面設(shè)有滾珠，所述框架靠近底板的一側(cè)設(shè)有供所述刀具的所述刀軸穿越的通孔，所述刀軸的另一端通過所述頂桿與位于所述框架內(nèi)的所述頂塊固定連接，所述彈簧套設(shè)于所述頂桿的外側(cè)，所述框架通過所述彈簧將所述頂塊頂向所述橫梁，所述頂塊上與所述橫梁或者條狀墊片相接觸的表面設(shè)有另一滾珠。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩模板樣品橫斷面切割工具，其特征在于，所述刀具驅(qū)動機構(gòu)還包括手柄，所述手柄設(shè)置于所述框架遠離底板的一端。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的掩模板樣品橫斷面切割工具，其特征在于，所述框架上與所述橫梁相接觸的表面設(shè)有兩個相間隔的滾珠，所述頂塊上與所述橫梁相接觸的表面設(shè)有一滾珠，設(shè)于所述頂塊上的滾珠與所述兩個相間隔的滾珠的距離相等。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板樣品橫斷面切割工具，其特征在于，所述掩模板樣品固定機構(gòu)包括兩對滑動鎖緊機構(gòu)，每個滑動鎖緊機構(gòu)包括滑塊和鎖緊件，所述底板上開設(shè)有與所述滑塊相匹配的滑槽，所述滑塊通過所述鎖緊件固定于所述底板的所述滑槽內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的掩模板樣品橫斷面切割工具，其特征在于，所述滑槽與所述橫梁相互垂直。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掩模板樣品橫斷面切割工具，其特征在于，所述第一標尺的兩端分別通過連接板與所述底板活動連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求1 9中任意一項所述的掩模板樣品橫斷面切割工具，其特征在于，所述兩塊條狀墊片的相對端分別設(shè)有導向坡。
專利摘要本實用新型公開了一種掩模板樣品橫斷面切割工具，包括底板、兩塊條狀墊片、橫梁、刀具驅(qū)動機構(gòu)、刀具以及掩模板樣品固定機構(gòu)，所述橫梁架設(shè)于所述底板上，所述兩塊條狀墊片沿所述橫梁的縱向分別安裝于所述橫梁的兩端下方，所述掩模板樣品通過所述掩模板樣品固定機構(gòu)安裝于所述底板上，所述兩塊條狀墊片之間的間隙與所述掩模板樣品上的觀察圖形區(qū)域相對應，通過帶動所述刀具驅(qū)動機構(gòu)沿所述橫梁移動實現(xiàn)刀具對所述掩模板樣品的切割。在每次切割過程中，不需要人為觀察確定切割位置，即可以實現(xiàn)掩模板樣品的切割，不但可以避免刀具碰傷掩模板樣品上的需要觀察的切割區(qū)域，而且可以實現(xiàn)統(tǒng)一一致的切割，顯著提高了切割效率和精度。
文檔編號B28D5/04GK203046015SQ20132002890
公開日2013年7月10日 申請日期2013年1月18日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月18日
發(fā)明者田明靜 申請人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司