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生產石英玻璃棒的連熔爐以及制造工藝的制作方法

文檔序號:1987458閱讀:2493來源:國知局
專利名稱:生產石英玻璃棒的連熔爐以及制造工藝的制作方法
技術領域
本發(fā)明涉及一種連續(xù)生產石英棒的裝置和制造工藝。
背景技術
現(xiàn)有連熔爐不能生產高端石英管棒,生產石英玻璃棒的方法存在以下缺陷在連熔爐里安裝有芯桿,通過調節(jié)芯桿裝置位置,來調節(jié)下料,通過芯桿負壓抽真空的方式使管子變成棒,由于工藝落后,只能生產小規(guī)格,且產品有氣泡氣線,由于有芯桿裝置,所以生產的棒帶黑芯,無法生產出高質量的產品,嚴重限制了其應用范圍。

發(fā)明內容
有鑒于此,本發(fā)明要解決的技術問題在于提供一種生產石英玻璃棒的連熔爐以及制造工藝,生產的石英玻璃棒沒有氣泡、氣線和黑芯。 為解決上述技術問題,本發(fā)明的技術方案是這樣實現(xiàn)的一種生產石英玻璃棒的連熔爐,包括相互配合的爐體、爐蓋,爐體內設有鎢坩堝,鎢坩堝的外側設有連接電極的發(fā)熱網和保溫砂,爐口處設有高溫磚,水套、排塵裝置,所述鎢坩堝上端連通有加料裝置和隔熱裝置,鎢坩堝下端連接成型裝置。另一種技術方案為一種生產石英玻璃棒的連熔爐的制作工藝,其工藝步驟如下
a、將高純石英砂經過加料裝置和除氧隔離裝置,連續(xù)加入到鎢坩堝內;
b、石英砂被加熱到200(T24(KrC并保持,使石英砂充分熔化、雜質充分揮發(fā)、氣泡散
掉;
C、石英砂通過鎢坩堝下端的成型裝置時,溫度降低,充分熔化的石英熔液慢慢流出; d、然后通過自動控制系統(tǒng)的控制,拉出直徑3 180_的石英棒。進一步,其工藝步驟如下所述步驟b中石英砂被加熱到215(T2250°C。本發(fā)明達到的技術效果如下本發(fā)明連熔爐為要素省略發(fā)明,取消了鎢坩鍋內芯桿裝置,通過鎢坩鍋下部的成型裝置,在一定的溫度下,拉制成型。由于沒有芯桿裝置,沒有氣泡、氣線和黑芯,而且制造的石英玻璃棒的直徑大,廣泛用于半導體、太陽能和光纖等行業(yè)。


圖I為本發(fā)明生產石英玻璃棒的連熔爐的結構示意圖。
具體實施例方式如圖I所示,為本發(fā)明生產石英玻璃棒的連熔爐,包括相互配合的爐體4、爐蓋3,爐體4內設有鎢坩堝12,鎢坩堝12的外側設有連接電極10的發(fā)熱網11和保溫砂5,爐口處設有高溫磚6,水套7、排塵裝置9,鎢坩堝12上端連通有加料裝置I和隔熱裝置2,鎢坩堝下端連接成型裝置13。與現(xiàn)有技術相比,連熔爐內取消了芯桿裝置,高純石英砂直接注入至鎢坩堝12內,通過成型裝置13拉制成型。使用本發(fā)明生產石英玻璃棒的連熔爐,其工藝步驟如下
a、將高純石英砂經過加料裝置I和除氧隔離裝置2,連續(xù)加到鎢坩堝12內;
b、石英砂被加熱到200(Γ2400 并保持,石英砂被加熱到的最佳溫度為215(T2250°C。使石英砂充分熔化、雜質充分揮發(fā)、氣泡散掉;
C、石英砂通過鎢坩堝12下端的成型裝置13時,溫度降低,充分熔化的石英熔液慢慢流
出;
d、然后通過改變出料口的大小和長度及輔助控制系統(tǒng),拉出直徑3 180_的石英棒8。自動控制系統(tǒng)為現(xiàn)有的設備,包括激光測徑儀、儀表及計算機等,在此不再贅述。 以上所述,僅為本發(fā)明的較佳實施例而已,并非用于限定本發(fā)明的保護范圍。
權利要求
1.一種生產石英玻璃棒的連熔爐,其特征在于,包括相互配合的爐體、爐蓋,爐體內設有鎢坩堝,鎢坩堝的外側設有連接電極的發(fā)熱網和保溫砂,爐口處設有高溫磚,水套、排塵裝置,其特征在于,所述鎢坩堝上端連通有加料裝置和隔熱裝置,鎢坩堝下端連接成型裝置。
2.如權利要求I所述的生產石英玻璃棒的連熔爐的制造工藝,其特征在于,其工藝步驟如下 a、將高純石英砂經過加料裝置和除氧隔離裝置,連續(xù)加入到鎢坩堝內; b、石英砂被加熱到200(T24(KrC并保持,使石英砂充分熔化、雜質充分揮發(fā)、氣泡散掉; C、石英砂通過鎢坩堝下端的成型裝置時,溫度降低,充分熔化的石英熔液慢慢流出; d、然后通過自動控制系統(tǒng)的控制,拉出直徑3 180_的石英棒。
3.如權利要求2所述的生產石英玻璃棒的連熔爐的制作工藝,其特征在于,其工藝步驟如下所述步驟b中石英砂被加熱到2150-2250°C。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種生產石英玻璃棒的連熔爐以及制造工藝,包括相互配合的爐體、爐蓋,爐體內設有鎢坩堝,鎢坩堝的外側設有連接電極的發(fā)熱網和保溫砂,爐口處設有高溫磚,水套、排塵裝置,鎢坩堝上端連通有加料裝置和隔熱裝置,鎢坩堝下端連接成型裝置。本發(fā)明連熔爐取消了鎢坩鍋內芯桿裝置,通過鎢坩鍋下部的成型裝置,在一定的溫度下,拉制成型。由于沒有芯桿裝置,沒有氣泡、氣線和黑芯,而且制造的石英玻璃棒的直徑大,廣泛用于半導體、太陽能和光纖等行業(yè)。
文檔編號C03B20/00GK102875007SQ201210347839
公開日2013年1月16日 申請日期2012年9月19日 優(yōu)先權日2012年9月19日
發(fā)明者陳士斌, 周明強, 徐同根, 劉明偉, 許志仁 申請人:江蘇太平洋石英股份有限公司
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