一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型所述的一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具，適用于在單晶硅硅片施加背風(fēng)片的工藝過程中清除沉積在排氣罩上的二氧化硅揮發(fā)物，所述的除塵工具主要由加長(zhǎng)扁管（1）、毛刷頭（2）、刷毛（3）構(gòu)成。加長(zhǎng)扁管（1）的管口呈矩形狀，毛刷頭（2）前端面設(shè)計(jì)成平面，側(cè)面設(shè)計(jì)成圓形弧度面并加工有開孔（4），開孔（4）上與毛刷頭（2）上粘接的刷毛（3）呈交叉排列。本實(shí)用新型可輕松刷掉排氣罩深處及弧度處的沉積物，同時(shí)由于毛刷頭（2）與加長(zhǎng)扁管（1）的吸頭（6）組合成一體，使得刷掉的沉積物可立刻被吸走，避免了微小顆粒污染環(huán)境。
【專利說明】
一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于單晶硅硅片生產(chǎn)【技術(shù)領(lǐng)域】，主要涉及一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具。

【背景技術(shù)】
[0002]采用常壓化學(xué)氣相沉積爐給單晶硅硅片施加背風(fēng)片的工藝過程中，由于生產(chǎn)中會(huì)產(chǎn)生大量二氧化硅揮發(fā)物，而且這些揮發(fā)物沉積在常壓化學(xué)氣相沉積爐的重要部件排氣罩及氮?dú)庹直砻嫔希e累一定時(shí)間后將嚴(yán)重影響單晶硅片表面二氧化硅膜沉積效果，甚至?xí)霈F(xiàn)大量諸如小藍(lán)點(diǎn)、大藍(lán)點(diǎn)、空心點(diǎn)、大白點(diǎn)、均勻性不一等表面缺陷，嚴(yán)重影響背封片的產(chǎn)量、質(zhì)量及驗(yàn)收率。因此需要定期對(duì)排氣罩進(jìn)行徹底有效的清理，使排氣罩達(dá)到一定的潔凈度時(shí)才能確保背風(fēng)片的連續(xù)性生產(chǎn)。
[0003]當(dāng)前清理排氣罩的方法是:使用普通毛刷刷掉排氣罩表面的沉積物，然后用吸塵器吸干凈。這樣做的缺點(diǎn)是因?yàn)榕艢庹謨?nèi)部不是開放式的平整面，而是狹小的有弧度及死角的封閉區(qū)域，因此普通毛刷不可能徹底刷干凈。同時(shí)刷子刷沉積物與吸塵器的吸除不是同步進(jìn)行，而是先刷后吸，因此會(huì)有大量細(xì)小的沉積物飄散出來，污染整個(gè)生產(chǎn)區(qū)域，這對(duì)于需要有苛刻環(huán)境要求的常壓化學(xué)氣相沉積來說，是致命的。將會(huì)嚴(yán)重影響背封片的產(chǎn)量、收率。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)所存在的問題，本實(shí)用新型提出了一種常壓化學(xué)氣相沉積爐上排氣罩的除塵工具，采用在吸塵器的吸塵軟管頭端加裝一個(gè)專用排氣罩除塵工具，使其即可輕松刷掉排氣罩深處及弧度處的沉積物，也能實(shí)現(xiàn)毛刷與吸頭一體化吸刷同步，使刷掉的沉積物立刻被吸走，避免了微小顆粒污染環(huán)境的問題。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采取的具體技術(shù)方案是:一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具，主要由加長(zhǎng)扁管、毛刷頭、刷毛構(gòu)成；其中加長(zhǎng)扁管采用聚氯乙烯材料制做，加長(zhǎng)扁管的管口呈矩形狀；毛刷頭的前端面設(shè)計(jì)為平面，側(cè)面為圓形弧度面并加工有開孔，其開孔上與毛刷頭上粘接的刷毛交叉排列；刷毛采用尼龍材料制做；加長(zhǎng)扁管一端與吸塵器上的軟管連接，另一端的吸頭組裝在毛刷頭上。
[0006]本實(shí)用新型所述的一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具，可實(shí)現(xiàn)對(duì)排氣罩高效便捷的清掃。使用加長(zhǎng)扁管后延長(zhǎng)了吸頭長(zhǎng)度，從而可輕松刷掉排氣罩深處及弧度處的沉積物。同時(shí)由于毛刷與吸頭一體化吸刷同步，刷掉的沉積物立刻被吸走，避免了微小顆粒污染環(huán)境的可能。既降低了人員的勞動(dòng)量，提高工作效率，又大大提高了對(duì)排氣罩除塵能力，使設(shè)備保持最佳的工作狀態(tài)，最終提高了背封片的產(chǎn)量、收率。收率可以提高一到兩個(gè)百分點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0008]圖2為本實(shí)用新型毛刷頭開孔狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖3為加長(zhǎng)扁管開口狀態(tài)結(jié)構(gòu)不意圖。
[0010]圖中:1、加長(zhǎng)扁管；2、毛刷頭；3、刷毛；4、開孔;5、加長(zhǎng)扁管開口 ;6、吸頭。

【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖給出本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】如下:
[0012]如圖1、圖2、圖3所示，所述的一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具，主要是由加長(zhǎng)扁管1、毛刷頭2、刷毛3構(gòu)成；其中加長(zhǎng)扁管I采用聚氯乙烯材料制做，加長(zhǎng)扁管I的管口呈矩形狀，毛刷頭2的前端面設(shè)計(jì)為平面，側(cè)面設(shè)計(jì)圓形弧度面并加工有開孔4 ;開孔4在毛刷頭2上且開孔4上與毛刷頭2上粘接的刷毛3交叉排列，刷毛3采用尼龍材料制做；加長(zhǎng)扁管I 一端與吸塵器上的軟管連接，另一端的吸頭6組裝在毛刷頭2上。使用時(shí)，加長(zhǎng)扁管I延長(zhǎng)了吸頭6的長(zhǎng)度，可以輕松刷掉排氣罩深處的沉積物，毛刷頭2的平面可以清理排氣罩內(nèi)壁及開闊區(qū)域的沉積物，毛刷頭2的弧度面可以清理排氣罩拐角、死角等不平整處的沉積物；同時(shí)毛刷頭2與加長(zhǎng)扁管I的吸頭6組合成一體化，刷掉的沉積物立刻被吸走，避免了微小顆粒污染環(huán)境。
【權(quán)利要求】
1.一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具，其特征是:所述的一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具主要是由加長(zhǎng)扁管(I)、毛刷頭(2)、刷毛(3)構(gòu)成；其中加長(zhǎng)扁管(I)采用聚氯乙烯材料制做，加長(zhǎng)扁管(I)的管口呈矩形狀；毛刷頭(2)的前端面設(shè)計(jì)為平面，側(cè)面設(shè)計(jì)圓形弧度面，圓形弧度面上加工有開孔(4);開孔(4)上與毛刷頭(2)上粘接有刷毛(3)，加長(zhǎng)扁管(I)的一端與吸塵器上的軟管連接，另一端吸頭(6)組裝在毛刷頭(2)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具，其特征是:開孔(4)上與毛刷頭(2)上粘接的刷毛(3)交叉排列。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具，其特征是:刷毛(3)采用尼龍材料制作。
【文檔編號(hào)】B08B5/04GK204148160SQ201420491373
【公開日】2015年2月11日 申請(qǐng)日期:2014年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月29日
【發(fā)明者】吳躍峰, 苗立剛 申請(qǐng)人:洛陽(yáng)單晶硅集團(tuán)有限責(zé)任公司