專利名稱：晶圓盒自動(dòng)清洗裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及ー種晶圓盒自動(dòng)清洗裝置。
背景技術(shù)：
目前，在半導(dǎo)體生產(chǎn)エ藝車間內(nèi)，一般采用晶圓盒傳送晶圓。請(qǐng)參閱圖1，圖1所示為現(xiàn)有的晶圓盒的結(jié)構(gòu)示意圖。通常，現(xiàn)有的晶圓盒包括一面開ロ(圖1中為前面開ロ) 的盒體101和門蓋(圖1中未圖示)，所述門蓋與盒體101的開ロ處110相配合，用于封閉所述盒體101，所述盒體101的內(nèi)壁設(shè)有用于放置晶圓102的若干凹槽103。當(dāng)晶圓盒傳輸一定量的晶圓102后，由于反復(fù)放置和撒離晶圓102，晶圓102和晶圓盒接觸的過程中容易積聚大量的顆粒物質(zhì)104。因此，需要定期對(duì)晶圓盒進(jìn)行清洗。目前，常用的清洗方法是先將晶圓盒打開，然后將若干晶圓盒放入一個(gè)大的容器(圖1中未圖示)內(nèi)，接著在容器內(nèi)沖洗晶圓盒。但是，這種方法存在晶圓盒沖洗不干凈，以及清洗效率低下的問題。因此，如何提供一種可以提高清洗效率和清洗效果的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的ー個(gè)技術(shù)問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，可以徹底清洗晶圓盒，同時(shí)可以有效提高晶圓盒的清洗效率。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案—種晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，包括控制器、雙向伸縮機(jī)構(gòu)、兩連接桿、兩帶有刷毛的刷桶、兩噴水管、噴水控制閥和推進(jìn)桿，所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)具有兩相背的輸出端，所述兩相背的輸出端分別通過對(duì)應(yīng)的連接桿和對(duì)應(yīng)的刷桶相連，所述刷桶的縱向和所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)的伸縮方向相垂直，所述刷桶的縱向和所述噴水管的縱向相平行，所述推進(jìn)桿的一端固定連接于所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)的側(cè)部，所述推進(jìn)桿的運(yùn)動(dòng)方向和所述刷桶的縱向相垂直，所述控制器分別與所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)和噴水控制閥信號(hào)連接。優(yōu)選的，在上述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置中，雙向伸縮機(jī)構(gòu)是雙向伸縮氣缸。優(yōu)選的，在上述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置中，還包括氣源裝置和氣源控制閥，所述氣源控制閥設(shè)置于所述氣源裝置與所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)相連接的管路上，所述氣源控制閥和所述控制器信號(hào)連接。優(yōu)選的，在上述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置中，所述雙向伸縮氣缸包括氣缸體和彈簧， 所述彈簧設(shè)于所述氣缸體內(nèi)，所述彈簧的兩端分別和對(duì)應(yīng)的連接桿連接。優(yōu)選的，在上述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置中，還包括兩位移傳感器，所述位移傳感器分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的連接桿上，所述位移傳感器分別和控制器連接。優(yōu)選的，在上述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置中，還包括兩刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)分別和所述控制器信號(hào)連接，所述刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)分別帶動(dòng)所述刷桶轉(zhuǎn)動(dòng)。[0013]優(yōu)選的，在上述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置中，所述刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的連接桿上。優(yōu)選的，在上述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置中，所述噴水管沿縱向排列設(shè)有若干噴水優(yōu)選的，在上述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置中，所述連接桿的外表面包裹有防水的波紋管。優(yōu)選的，在上述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置中，還包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出部和所述推進(jìn)桿的另一端固定連接，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述控制器信號(hào)連接。本實(shí)用新型的有益效果如下本實(shí)用新型提供的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，設(shè)置有控制器、雙向伸縮機(jī)構(gòu)、兩連接桿、兩帶有刷毛的刷桶、兩噴水管、噴水控制閥和推進(jìn)桿，通過控制器控制噴水控制閥，可以使得噴水管向晶圓盒的內(nèi)壁噴射純凈水，起到?jīng)_洗顆粒和浸濕晶圓盒內(nèi)壁的作用，并利用刷桶不斷刷洗晶圓盒，直至晶圓盒清洗干凈，從而，可以提高晶圓盒的清洗效率和清洗效果。另外，通過增設(shè)刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)，刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)在控制器作用下可以帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的刷桶轉(zhuǎn)動(dòng)，從而，可以進(jìn)一步提高刷桶對(duì)晶圓盒內(nèi)壁的清洗效率和清洗效果。

本實(shí)用新型的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖1為現(xiàn)有的晶圓盒的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為圖2的側(cè)視圖；圖4為圖2的俯視圖；圖5為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置的控制原理示意圖；圖6為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置的局部示意圖。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率， 僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。[0030]請(qǐng)參閱圖2至圖6，其中，圖2所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3所示為圖2的側(cè)視圖，圖4所示為圖2的俯視圖，圖5所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置的控制原理示意圖，圖6所示為本實(shí)用新型一實(shí)施例的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置的局部示意圖。這種晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，包括控制器1、雙向伸縮機(jī)構(gòu)2、兩連接桿3、兩帶有刷毛的刷桶4、兩噴水管5、噴水控制閥6和推進(jìn)桿7，所述噴水管5沿縱向排列設(shè)有若干噴水口(圖中未示意)，所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)2具有兩相背的輸出端，所述兩相背的輸出端分別通過對(duì)應(yīng)的連接桿3和對(duì)應(yīng)的刷桶4相連，所述刷桶4的縱向和所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)2的伸縮方向相垂直，且所述刷桶4的縱向和所述噴水管5的縱向相平行，所述推進(jìn)桿7的一端固定連接于所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)2的側(cè)部，所述推進(jìn)桿7的運(yùn)動(dòng)方向和所述刷桶4的縱向相垂直， 所述控制器1分別與所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)2和噴水控制閥6信號(hào)連接。當(dāng)晶圓盒自動(dòng)清洗裝置伸入晶圓盒(可參照?qǐng)D1)內(nèi)時(shí)，操作人員經(jīng)控制器1控制噴水控制閥6(請(qǐng)結(jié)合參閱圖幻，使得噴水管5可以向晶圓盒的內(nèi)壁噴射純凈水，該噴射的純凈水可以起到?jīng)_洗顆粒物質(zhì)和浸濕晶圓盒內(nèi)壁的作用。然后，可以通過前后移動(dòng)推進(jìn)桿 7，使得刷桶4不斷刷洗晶圓盒，直至晶圓盒清洗干凈。較佳地，本實(shí)施例中的所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)2采用雙向伸縮氣缸，所述晶圓盒自動(dòng)清洗裝置還包括氣源裝置(圖中未示意)和氣源控制閥8 (請(qǐng)結(jié)合參閱圖幻，所述氣源控制閥8設(shè)置于所述氣源裝置與所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)2相連接的管路上，所述氣源控制閥8和所述控制器1信號(hào)連接。本實(shí)施例中，所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)2的具體結(jié)構(gòu)如下所述雙向伸縮氣缸包括氣缸體21和彈簧22，所述彈簧22設(shè)于所述氣缸體21內(nèi)，所述彈簧22的兩端分別和對(duì)應(yīng)的連接桿3連接?？梢岳斫獾氖?，以上是雙向伸縮機(jī)構(gòu)2的一種結(jié)構(gòu)型式，當(dāng)然其還可以采用其他結(jié)構(gòu)型式。較佳地，本實(shí)施例的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置還包括兩位移傳感器9 (請(qǐng)結(jié)合參閱圖5 和圖6)，所述位移傳感器9分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的連接桿3上，所述位移傳感器9分別和控制器 1連接。通過位移傳感器9可以監(jiān)控連接桿3的位置情況及時(shí)并上傳到控制器1，確保整個(gè)
裝置安全穩(wěn)定工作。較佳地，本實(shí)施例的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置還包括兩刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)10，所述刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)10分別帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的刷桶4轉(zhuǎn)動(dòng)，所述刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)10分別和所述控制器1信號(hào)連接。所述刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)10分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的連接桿3上。所述控制器1可以控制刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)10，通過刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)10可以帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的刷桶4轉(zhuǎn)動(dòng)，從而提高帶有刷毛的刷桶4 對(duì)晶圓盒內(nèi)壁的清洗效率。較佳地，在上述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置中，還包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)(圖中未示意)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出部和所述推進(jìn)桿7的另一端固定連接，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述控制器1信號(hào)連接。所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以是機(jī)械手臂。所述控制器1可以控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)可以帶動(dòng)所述推進(jìn)桿7運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)整個(gè)晶圓盒自動(dòng)清洗裝置從晶圓盒伸入或伸出，協(xié)助刷桶4進(jìn)行清洗。較佳地，本實(shí)施例的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置中，所述連接桿3的外表面包裹有防水的波紋管11，從而更好地保護(hù)與連接桿3相連的雙向伸縮機(jī)構(gòu)2和刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)8。請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2至圖6，本實(shí)施例的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置的使用方法如下[0039]首先，在控制器1的作用下，通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)將推進(jìn)桿7及與推進(jìn)桿7相連的其他部件伸入晶圓盒內(nèi)；接著，通過氣源控制閥8使得雙向伸縮機(jī)構(gòu)2的輸出端處于收縮狀態(tài)后，再通過噴水控制閥6使得噴水管5向晶圓盒內(nèi)壁進(jìn)行噴水；然后，通過氣源控制閥8使得雙向伸縮機(jī)構(gòu)2的輸出端向外伸張，直至刷桶4與晶圓盒內(nèi)壁接觸；接著，通過刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)10帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的刷桶4轉(zhuǎn)動(dòng)，使得刷毛不斷滾動(dòng)式刷洗晶圓盒的內(nèi)壁，直至將晶圓盒的內(nèi)壁清洗干凈；最后，停止刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)10的轉(zhuǎn)動(dòng)，通過氣源控制閥8使得雙向伸縮機(jī)構(gòu)2的輸出端處于收縮狀態(tài)后，再通過移動(dòng)機(jī)構(gòu)將推進(jìn)桿7及與推進(jìn)桿7相連的其他部件伸入晶圓盒內(nèi)，如此，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓盒的有效清洗。綜上所述，本實(shí)用新型提供的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，通過控制器控制噴水控制閥， 可以使得噴水管向晶圓盒的內(nèi)壁噴射純浄水，起到?jīng)_洗顆粒和浸濕晶圓盒內(nèi)壁的作用，并利用刷桶不斷刷洗晶圓盒，直至晶圓盒清洗干凈，從而，可以提高晶圓盒的清洗效率和清洗效果。另外，通過增設(shè)刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)，刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)在控制器作用下可以帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的刷桶轉(zhuǎn)動(dòng)，從而，可以進(jìn)ー步提高刷桶對(duì)晶圓盒內(nèi)壁的清洗效率和清洗效果。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，其特征在于，包括控制器、雙向伸縮機(jī)構(gòu)、兩連接桿、兩帶有刷毛的刷桶、兩噴水管、噴水控制閥和推進(jìn)桿，所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)具有兩相背的輸出端， 所述兩相背的輸出端分別通過對(duì)應(yīng)的連接桿和對(duì)應(yīng)的刷桶相連，所述刷桶的縱向和所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)的伸縮方向相垂直，且所述刷桶的縱向和所述噴水管的縱向相平行，所述推進(jìn)桿的一端固定連接于所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)的側(cè)部，所述推進(jìn)桿的運(yùn)動(dòng)方向和所述刷桶的縱向相垂直，所述控制器分別與所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)和噴水控制閥信號(hào)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，其特征在于，所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)是雙向伸縮氣缸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，其特征在于，還包括氣源裝置和氣源控制閥，所述氣源控制閥設(shè)置于所述氣源裝置與所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)相連接的管路上，所述氣源控制閥和所述控制器信號(hào)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，其特征在于，所述雙向伸縮氣缸包括氣缸體和彈簧，所述彈簧設(shè)于所述氣缸體內(nèi)，所述彈簧的兩端分別和對(duì)應(yīng)的連接桿連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，其特征在于，還包括兩位移傳感器，所述位移傳感器分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的連接桿上，所述位移傳感器分別和控制器連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，其特征在于，還包括兩刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)， 所述刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)分別和所述控制器信號(hào)連接，所述刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)分別帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的刷桶轉(zhuǎn)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，其特征在于，所述刷桶驅(qū)動(dòng)電機(jī)分別設(shè)置于對(duì)應(yīng)的連接桿上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，其特征在于，所述噴水管沿縱向排列設(shè)有若干噴水口。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，其特征在于，所述連接桿的外表面包裹有防水的波紋管。
10.根據(jù)權(quán)利要求1-9中任意一項(xiàng)所述的晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，還包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出部和所述推進(jìn)桿的另一端固定連接，且所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述控制器信號(hào)連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種晶圓盒自動(dòng)清洗裝置，包括控制器、雙向伸縮機(jī)構(gòu)、兩連接桿、兩帶有刷毛的刷桶、兩噴水管、噴水控制閥和推進(jìn)桿，所述雙向伸縮機(jī)構(gòu)具有兩相背的輸出端，兩相背的輸出端分別通過對(duì)應(yīng)的連接桿和對(duì)應(yīng)的刷桶相連，刷桶的縱向和雙向伸縮機(jī)構(gòu)的伸縮方向相垂直，刷桶的縱向和噴水管的縱向相平行，所述推進(jìn)桿的一端固定連接于雙向伸縮機(jī)構(gòu)的側(cè)部，所述推進(jìn)桿的運(yùn)動(dòng)方向和刷桶的縱向相垂直，所述控制器分別與雙向伸縮機(jī)構(gòu)和噴水控制閥信號(hào)連接。通過控制器控制噴水控制閥，使得噴水管向晶圓盒的內(nèi)壁噴射純凈水，起到?jīng)_洗顆粒和浸濕晶圓盒內(nèi)壁的作用，并可通過刷桶刷洗晶圓盒，從而有效提高晶圓盒的清洗效率和清洗效果。
文檔編號(hào)B08B9/20GK202290684SQ20112039561
公開日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年10月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月17日
發(fā)明者吳良輝 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司