專利名稱：排氣罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路制造技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種用于收集并排出密閉反應(yīng)室(Chamber)中所產(chǎn)生的廢氣的排氣罩。
背景技術(shù)：
在集成電路的制造過程中，為了使機臺能夠正常運轉(zhuǎn)，將停機(DOWN)次數(shù)減少到最低限度，必須對包括密閉反應(yīng)室(Chamber)在內(nèi)的機臺進(jìn)行定期的預(yù)防性保養(yǎng)(preventive maintenance，PM)，由于這種保養(yǎng)現(xiàn)在一般采用含氟氣體，如C4F8、C5F8等，所以很容易產(chǎn)生有害氣體殘留，當(dāng)工作人員對機臺進(jìn)行維護(hù)時，這些含氟氣體會危害他們的身體健康；再者，密閉反應(yīng)室所用的有機溶劑PF5060也是易揮發(fā)的含氟氣體，因此在機臺上一般都加裝有檢測器對有害氣體的濃度進(jìn)行實時檢測(DETECTOR)，當(dāng)從密閉反應(yīng)室逸出的有害氣體的濃度超標(biāo)時進(jìn)行報警(ALARM)，讓有關(guān)操作人員撤離現(xiàn)場，待報警原因查明、并排除故障使有害氣體降至安全的濃度后才能使操作恢復(fù)正常。
如圖1為現(xiàn)有技術(shù)的反應(yīng)室頂蓋密封時的示意圖，圖2為現(xiàn)有技術(shù)的反應(yīng)室頂蓋打開時的示意圖，該密閉反應(yīng)室200在需要清洗時，為避免反應(yīng)室內(nèi)的有害氣體逸出后損害操作人員的身體健康，必須先由進(jìn)氣口1往密閉反應(yīng)室200內(nèi)通入N2，再從排氣口2排出廢氣，如此反復(fù)要進(jìn)行30多次的N2沖排，才能將密閉反應(yīng)室200內(nèi)的有害氣體排放到所要求的濃度以下，這樣才可以關(guān)閉進(jìn)氣口1和排氣口2，停止N2沖排，打開密閉反應(yīng)室的頂蓋，由操作人員進(jìn)行預(yù)防性保養(yǎng)。由于必須進(jìn)行30多次的排氣，當(dāng)然會延長清洗操作的時間，降低工作效率。
而且，即便是在進(jìn)行了30多次的N2沖排后，有時也可能引起設(shè)于機臺上的檢測器(圖中未示)的誤報警；這是因為，檢測器原本只是設(shè)計用于檢測氟等對人體有害的氣體超標(biāo)并進(jìn)行報警的，但是在實際操作過程中，密閉反應(yīng)室所用的有些溶劑也會產(chǎn)生某些無毒氣體，由于是無毒氣體，所以不必報警停機，也不必讓有關(guān)操作人員撤離現(xiàn)場；但問題是這些無毒氣體達(dá)到一定濃度后同樣將會引起檢測器的報警，而現(xiàn)有技術(shù)只用N2沖排容易使氣體排放不徹底，這種情況引起檢測器的報警后時就會使操作人員誤認(rèn)為是氟超標(biāo)，而不得不再次關(guān)閉密閉反應(yīng)室的頂蓋進(jìn)行N2沖排，從而使操作處于停頓狀態(tài)，造成不必要的浪費；可是從安全的角度來考慮，又不能取消檢測器的設(shè)計。
綜上，現(xiàn)有技術(shù)的排氣裝置存在的缺點有二一是N2沖排次數(shù)多，使得操作時間長、效率低；二是由于排氣不徹底，容易引發(fā)檢測器的誤報警，影響生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明的目的就是要提供一種新的排氣裝置，減少排氣次數(shù)、并可邊排氣邊清洗，以快速、高效地消除這些含氟有害氣體。
為了達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供了以下三種技術(shù)方案1、一種排氣罩，圍置于密閉反應(yīng)室的開口周圍以收集并排出廢氣，該排氣罩包括一個中空套管、以及與該中空套管相連通的管路，該管路的另一端與真空抽吸裝置相連接，在該中空套管的內(nèi)壁上設(shè)有至少一個排氣孔；密閉反應(yīng)室內(nèi)的廢氣從排氣孔被抽吸進(jìn)中空套管并從管路排出。其中中空套管的內(nèi)壁形狀與所述密閉反應(yīng)室的開口的形狀相配合，且其內(nèi)壁恰可密封地圍置于所述密閉反應(yīng)室的開口外周。所述至少一個排氣孔均勻排列于中空套管的內(nèi)壁上。
2、一種排氣裝置，設(shè)置于密閉反應(yīng)室的開口周圍以及上方以收集并排出廢氣，該排氣裝置包括前述的排氣罩、以及一個設(shè)于所述密閉反應(yīng)室開口上方的排氣管，該排氣管也連接有真空抽吸裝置并設(shè)于所述密閉反應(yīng)室開口上方的中央位置。
3、一種排氣設(shè)備，設(shè)置于復(fù)數(shù)個密閉反應(yīng)室上以收集并排出廢氣，該排氣設(shè)備包括復(fù)數(shù)個上述的排氣裝置，其中每個該排氣裝置的排氣罩的中空套管圍置于一個密閉反應(yīng)室的開口周圍，每個排氣管設(shè)于該密閉反應(yīng)室的開口上方；所述復(fù)數(shù)個排氣裝置的復(fù)數(shù)個排氣管匯集到一個總的管路后，再與真空抽吸裝置相連接。
本發(fā)明的有益效果是經(jīng)實驗證明，因本裝置可以邊排氣邊清洗，不必再象原有技術(shù)那樣等待30次以上的N2沖排后才能夠再清洗，故加裝了本發(fā)明的排氣罩后，可只進(jìn)行10次的N2沖排就可打開密閉反應(yīng)室的頂蓋進(jìn)行清洗，從而使工作效率得以顯著提高；再者，由于本裝置可隨時進(jìn)行排氣，所以不會引發(fā)檢測器的誤報警，同時也更加有利于操作人員的身體健康。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的反應(yīng)室頂蓋密封時的示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)的反應(yīng)室頂蓋打開時的示意圖；圖3為本發(fā)明的實施例之一加裝在反應(yīng)室開口周圍的排氣罩的示意圖；圖4為排氣罩的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖5為本發(fā)明的實施例之二排氣罩加排氣管所組成的排氣裝置的示意圖；圖6為本發(fā)明的實施例之三含有多個排氣裝置的排氣設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
本發(fā)明是利用了空氣動力學(xué)的原理，在密閉反應(yīng)室的開口周圍加裝了包圍型排氣罩(PM HOOD)，并可配合在反應(yīng)室上方再加裝排氣(EXHAUST)管路，從洗槽開口周圍和中央收集并排出含有毒氣體的廢氣。
為了更加詳細(xì)地說明本排氣罩的結(jié)構(gòu)，下面結(jié)合附圖給出本發(fā)明的圖4為排氣罩1000的結(jié)構(gòu)示意圖；由圖中可見，中空套管1100的中空部分的橫截面形狀為方形，當(dāng)然也可為圓形、橢圓形、或三角形、或其他任意的形狀。
使用本發(fā)明的排氣罩時，應(yīng)先由進(jìn)氣口1往密閉反應(yīng)室200內(nèi)通入N2，再從排氣口2排出廢氣，因為加裝了本發(fā)明的排氣罩1000，所以只需進(jìn)行10次左右的N2沖排，即可關(guān)閉進(jìn)氣口1和排氣口2，停止N2沖排，打開密閉反應(yīng)室的頂蓋，一邊開啟本發(fā)明的排氣罩1000進(jìn)行排氣，一邊由操作人員進(jìn)行預(yù)防性保養(yǎng)。由于只須進(jìn)行大約10次的N2沖排，當(dāng)然會大大縮短清洗操作的時間，提高了工作效率；而且在人工清洗的過程中所產(chǎn)生的有害氣體也會被隨時抽出，保證了人員的健康。
實施例二排氣裝置為了加強反應(yīng)室內(nèi)廢氣的真空抽吸效果，本發(fā)明還提供了又一實施例即在上述實施例一的基礎(chǔ)上，在密閉反應(yīng)室的開口上方的中央位置加裝一個豎直的排氣(EXHAUST)管1300，如圖5所示為實施例二的結(jié)構(gòu)示意圖，一個排氣罩1000加一個排氣管1300組成了排氣裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；該排氣管1300連接有真空抽吸裝置(圖中未示)，當(dāng)該排氣管1300與排氣罩1000一同啟動時，由于該排氣管1300可直接將上升到密閉反應(yīng)室的開口上方的中央位置的廢氣排出，而排氣罩1000則主要負(fù)責(zé)將密閉反應(yīng)室的開口周圍的廢氣排掉，因此可使排氣效果更加顯著。
排氣管1300設(shè)計為移動式，使用時置于密閉反應(yīng)室的開口上方，優(yōu)選為中央的位置；排氣管1300的下端可采用PVC軟管，或具有可伸縮特點的管路，以便操作人員隨時控制排氣管1300的下端管口的高度。
實施例三排氣設(shè)備在上述實施例的基礎(chǔ)上，為達(dá)成降低設(shè)備成本的目的，還可衍生出本發(fā)明的又一個實施例，如圖6為本發(fā)明的實施例之三的結(jié)構(gòu)示意圖排氣設(shè)備含有多個如實施例二所述的排氣裝置2000，該排氣設(shè)備適用于具有多個密閉反應(yīng)室的工作現(xiàn)場，其中每個反應(yīng)室的排氣罩1000的中空套管1100圍置于該密閉反應(yīng)室的開口周圍，每個排氣管1300設(shè)于該密閉反應(yīng)室的開口上方；所述復(fù)數(shù)個排氣管1300匯集到一個總的排氣管3100后，再將總的排氣管3100與真空抽吸裝置(圖中未示)相連接。
盡管本發(fā)明是參照其特定的優(yōu)選實施例來描述的，但本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該理解，在不脫離由所附權(quán)利要求限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以對其進(jìn)行形式和細(xì)節(jié)的各種修改。
權(quán)利要求
1.一種排氣罩，圍置于密閉反應(yīng)室的開口周圍以收集并排出廢氣，其特征是該排氣罩包括一個中空套管(1100)、以及與該中空套管相連通的管路(1200)，該管路(1200)的另一端與真空抽吸裝置相連接，在該中空套管(1100)的內(nèi)壁上設(shè)有至少一個排氣孔(1101)；密閉反應(yīng)室內(nèi)的廢氣從排氣孔(1101)被抽吸進(jìn)中空套管(1100)并從管路(1200)排出。
2.如權(quán)利要求1所述的排氣罩，其特征是該中空套管(1100)的內(nèi)壁形狀與所述密閉反應(yīng)室的開口的形狀相配合，且其內(nèi)壁恰可圍置于所述密閉反應(yīng)室的開口外周。
3.如權(quán)利要求2所述的排氣罩，其特征是該中空套管(1100)是密封地圍置于所述密閉反應(yīng)室的開口外周。
4.如權(quán)利要求1所述的排氣罩，其特征是該中空套管(1100)的中空部分的橫截面形狀為方形、圓形、橢圓形、或三角形。
5.如權(quán)利要求1所述的排氣罩，其特征是所述至少一個排氣孔(1101)均勻排列于中空套管(1100)的內(nèi)壁上。
6.一種排氣裝置，設(shè)置于密閉反應(yīng)室的開口周圍以及上方以收集并排出廢氣，其特征是該排氣裝置包括一個如權(quán)利要求1所述的排氣罩、以及一個設(shè)于所述密閉反應(yīng)室開口上方的排氣管(1300)，該排氣管(1300)也連接有真空抽吸裝置。
7.如權(quán)利要求6所述的排氣裝置，其特征是該排氣管(1300)設(shè)于所述密閉反應(yīng)室開口上方的中央位置。
8.如權(quán)利要求6所述的排氣裝置，其特征是該排氣管(1300)豎直設(shè)于所述密閉反應(yīng)室開口上方的中央位置。
9.如權(quán)利要求6所述的排氣裝置，其特征是該中空套管(1100)的內(nèi)壁形狀與所述密閉反應(yīng)室的開口的形狀相配合，且其內(nèi)壁恰可密封地圍置于所述密閉反應(yīng)室的開口外周。
10.一種排氣設(shè)備，設(shè)置于復(fù)數(shù)個密閉反應(yīng)室上以收集并排出廢氣，其特征是該排氣設(shè)備包括復(fù)數(shù)個如權(quán)利要求6所述的排氣裝置，其中每個該排氣裝置的排氣罩的中空套管(1100)圍置于一個密閉反應(yīng)室的開口周圍，每個排氣管(1300)設(shè)于該密閉反應(yīng)室的開口上方；所述復(fù)數(shù)個排氣裝置的復(fù)數(shù)個排氣管(1300)匯集到一個總的管路后，再與真空抽吸裝置相連接。
11.如權(quán)利要求10所述的排氣設(shè)備，其特征是該排氣管(1300)豎直設(shè)于所述密閉反應(yīng)室開口上方的中央位置。
12.如權(quán)利要求10所述的排氣設(shè)備，其特征是該中空套管(1100)的內(nèi)壁形狀與所述密閉反應(yīng)室的開口的形狀相配合，且其內(nèi)壁恰可密封地圍置于所述密閉反應(yīng)室的開口外周。
全文摘要
一種排氣罩，圍置于密閉反應(yīng)室的開口周圍以收集并排出廢氣，包括一個中空套管、以及與該中空套管相連通的管路，該管路的另一端與真空抽吸裝置相連接，在該中空套管的內(nèi)壁上設(shè)有至少一個排氣孔；密閉反應(yīng)室內(nèi)的廢氣從排氣孔被抽吸進(jìn)中空套管并從管路排出；本裝置還可于所述密閉反應(yīng)室開口上方加設(shè)排氣管，以加強排氣效果；另外，還可將多個密閉反應(yīng)室的排氣罩的排氣管匯集到一個總的管路后，再與真空抽吸裝置相連接；因本裝置可以邊排氣邊清洗，不必再象原有技術(shù)那樣等待30次以上的N
文檔編號B08B15/00GK1603018SQ03151419
公開日2005年4月6日 申請日期2003年9月29日 優(yōu)先權(quán)日2003年9月29日
發(fā)明者鄭富源, 孫虎 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司