技術(shù)編號:9972253
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。移相干涉術(shù)是以光波波長為單位的非接觸式測量技術(shù),具有極高的測量精度和靈敏度,被認(rèn)為是檢測精密元件的最準(zhǔn)確技術(shù)之一。早在200多年前,人們就注意到了了光的干涉現(xiàn)象,并開始有計劃的控制干涉現(xiàn)象。但是直到I960年第一臺紅寶石激光器的研制成功,干涉現(xiàn)象才開始廣泛應(yīng)用于測量領(lǐng)域。傳統(tǒng)的干涉測量技術(shù)主要是通過照相或人眼直接觀察干涉條紋,手工計算測量結(jié)果的方式進(jìn)行的,效率低下,主觀誤差較大。1974年Bruning等人首次將通訊領(lǐng)域中的相位探測技術(shù)引入到光學(xué)測量中,使...
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