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快速熱處理腔室的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9913053

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RTP是在數(shù)秒或更短的時(shí)間內(nèi)將基板(諸如硅晶片)加熱至高達(dá)1200攝氏度或更高的溫度的制造工藝。RTP可用于多種應(yīng)用,包括摻雜劑活化、熱氧化或金屬回流。一類現(xiàn)存的RTP腔室利用燈陣列在處理期間快速加熱基板。與設(shè)置在腔室內(nèi)的多個(gè)高溫計(jì)(pyrometer)連接的控制器控制施加至燈的功率量,從而控制由這些燈產(chǎn)生的熱量。其他類型的腔室利用加熱的基板支撐件,并且可使用電阻測(cè)量裝置控制溫度。現(xiàn)存的RTP腔室意味著在制造設(shè)施上相當(dāng)大的投資,因而增加了生產(chǎn)裝置的成本。因...
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