技術(shù)編號(hào)：9870970
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件制造領(lǐng)域，涉及，特別是一 種具有凹形背板的麥克風(fēng)器件及其制作方法。背景技術(shù) 在隨著移動(dòng)通信技術(shù)的快速發(fā)展，消費(fèi)者越來(lái)越多地使用通信設(shè)備，如智能手機(jī)、 筆記本電腦、平板電腦等；并且送些電子產(chǎn)品體積不斷縮小、性能越來(lái)越高，相應(yīng)的要求配 套的電子元件的體積不斷減小、且性能和一致性提高。目前，MEMS麥克風(fēng)由于其小型化和輕 薄化的特點(diǎn)，成為取代使用有機(jī)膜的駐極體電容麥克風(fēng)的最佳候選者。MEMS麥克風(fēng)通過(guò)與 集成電路制造兼容的表面加工工藝制造而...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。