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一種具有重布線層的封裝結(jié)構(gòu)及制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9868151

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在芯片封裝過(guò)程中,為了減小過(guò)長(zhǎng)引線帶來(lái)的電阻損耗,通常采用重布線層(RDL)來(lái)將半導(dǎo)體芯片表面上的焊區(qū)重新布置以形成與引線框架的引腳較近的新的焊區(qū),以減小引線的互連電阻。在現(xiàn)有技術(shù)中,這種具有重布線層的封裝結(jié)構(gòu)一般為在半導(dǎo)體芯片上形成焊墊,焊墊一般為銅材料,然后通過(guò)涂膜、曝光、開(kāi)孔形成一個(gè)焊墊處開(kāi)口,然后在焊墊處開(kāi)口通過(guò)沉積濺射形成一層金屬連接結(jié)構(gòu)(一般為銅連接結(jié)構(gòu)),然后將重布線層連接至所述金屬連接結(jié)構(gòu),以實(shí)現(xiàn)將重布線層與半導(dǎo)體芯片進(jìn)行連接,但這種芯片與...
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