技術(shù)編號(hào):9789248
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種光調(diào)制薄膜晶體管器件中有源層/接觸層,光感應(yīng)柵絕緣層,平面的透明源、漏、柵電極的結(jié)構(gòu)及其制備方法,該薄膜晶體管除了具備傳統(tǒng)的源、漏、柵三個(gè)調(diào)制端電極外還具備對(duì)入射光的調(diào)制響應(yīng)特性,因此將入射光作為第四個(gè)光調(diào)制終端。背景技術(shù)目前,傳統(tǒng)具備光調(diào)制功能的光電薄膜晶體管通常需要將分立的光電探測(cè)元件與電信號(hào)讀取的薄膜晶體管合成在一起。這種結(jié)構(gòu)一方面會(huì)造成器件的制備工藝非常復(fù)雜,成本昂貴。另一方面以光電二極管與光電金屬氧化物半導(dǎo)體(Metal Oxide...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。