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一種太陽能薄膜電池靶材的制備方法技術資料下載

技術編號:9778927

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太陽能薄膜電池薄膜太陽能電池以其效率高、穩(wěn)定性強、耐輻射、耗材少等眾多優(yōu)點成為近些年太陽能電池領域的研究熱點。這種電池的性能主要由吸收層太陽能薄膜電池薄膜的質量決定,目前其主要制備方法有共蒸發(fā)法、金屬預置層后砸化法、電沉積法和噴霧高溫分解法等,然而由于太陽能薄膜電池薄膜結構復雜,結晶成膜要求條件較高,以共蒸發(fā)法和金屬預制層后砸化法為主的制備方法還存在著各種各樣的問題,阻礙了其產業(yè)化的進程。而靶材濺射成膜以穩(wěn)定性好,薄膜均勻致密等特點成為各企業(yè)爭相研究的對象...
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