技術編號：9766816
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 本發(fā)明涉及帶電粒子顯微鏡，包括 -樣本保持器，用于保持樣本； -源，用于產(chǎn)生帶電粒子射束； -照射器，用于引導所述射束以便輻照所述樣本； -檢測器，用于檢測響應于所述輻照而從樣本發(fā)出的輻射通量； 其中照射器包括 -孔隙板，其包括在所述射束的路徑中的孔隙區(qū)域，用于在射束撞擊所述樣本之前限定 射束的幾何形狀。 本發(fā)明還涉及使用這種顯微鏡的各種創(chuàng)新方法。背景技術 帶電粒子顯微術是用于尤其以電子顯微術的形式來將微觀對象成像的公知的且 越來越重要的技術。歷史上，電...
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