技術(shù)編號(hào)：9750008
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 在投影曝光裝置、例如步進(jìn)曝光裝置（stepper)中，在初次使用中間掩模的情況 下，將中間掩模實(shí)際裝入裝置中，利用光源的水銀燈進(jìn)行曝光，對(duì)透過/入射能量進(jìn)行運(yùn) 算，并作為中間掩模透射率回送。此時(shí)，以等間隔對(duì)中間掩模圖案的整個(gè)面進(jìn)行曝光和采 樣。需要在將中間掩模整體視作總體時(shí)估計(jì)出特性，但現(xiàn)實(shí)上難以識(shí)別出是怎樣的圖案，因 此，往往有可能成為偏差采樣。例如，在以與采樣相同的間距進(jìn)行重復(fù)的圖案中，作為中間 掩模透射率回送的結(jié)果與實(shí)際值偏離。在投影曝光裝置中，在...
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