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技術(shù)編號：9737737

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在現(xiàn)有硅異質(zhì)結(jié)太陽能電池的制備工藝中，包括清洗制絨、PECVD(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposit1n，等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法)、PVD(PhysicalVapor Deposit1n，物理氣相沉積)、絲網(wǎng)印刷和退火等工藝步驟，其中PECVD工藝是電池制備生產(chǎn)線的最核心工藝，而在該工藝過程中需要通過托盤來承載硅片，從而保證生產(chǎn)線的連續(xù)性和一致性?，F(xiàn)有PECVD工藝中用到的托盤的結(jié)構(gòu)為在基板上設(shè)置擋片，且通過粘結(jié)劑...
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