技術(shù)編號(hào):9732204
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。以往,在制造半導(dǎo)體元件(集成電路等)、液晶顯示元件等電子器件(微型器件)的光刻工序中,主要使用步進(jìn)重復(fù)方式的投影曝光裝置(所謂的步進(jìn)機(jī))或者步進(jìn)掃描方式的投影曝光裝置(所謂的掃描步進(jìn)機(jī)(也稱為掃描儀))等。在這種曝光裝置中,作為保持著成為曝光對(duì)象的晶圓或者玻璃板等基板并進(jìn)行二維移動(dòng)的載臺(tái)(晶圓載臺(tái)),成為主流的是將粗動(dòng)載臺(tái)與微動(dòng)載臺(tái)組合而成的粗微動(dòng)分離型的載臺(tái),其中,粗動(dòng)載臺(tái)產(chǎn)生很大的動(dòng)力但控制性低,微動(dòng)載臺(tái)搭載于粗動(dòng)載臺(tái)上,只產(chǎn)生很小的動(dòng)力并與粗動(dòng)載臺(tái)相...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。