技術(shù)編號(hào)：9731651
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及用于形成鎳被膜的，特別涉及 適合于使固體電解質(zhì)膜接觸基材而在該基材的表面形成鎳被膜的成膜用鎳溶液和使用該 溶液的成膜方法。背景技術(shù) -直以來(lái)，在制造電子電路基材等時(shí)，為形成鎳電路圖案，在基材的表面形成鎳被 膜。例如，作為這樣的金屬被膜的成膜技術(shù)，已提出在Si等半導(dǎo)體基材的表面，通過(guò)化學(xué)鍍 處理等鍍敷處理形成金屬被膜(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)，或者采用濺鍍等PVD法形成金屬被膜 的成膜技術(shù)。 但是，在進(jìn)行了化學(xué)鍍處理等鍍敷處理的情況下，鍍敷處理后的水...
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