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焦點調(diào)節(jié)方法及其裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9693100

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本發(fā)明涉及一種焦點調(diào)節(jié)方法及其裝置,例如,涉及一種在對安裝有電氣.電子部件的基板進(jìn)行涂布或檢查等的作業(yè)之前被執(zhí)行的在進(jìn)行用于位置偏移或傾斜修正的基準(zhǔn)位置教示時所使用的焦點調(diào)節(jié)方法及其裝置。背景技術(shù)在對安裝有電氣.電子部件的基板進(jìn)行涂布或檢查等的作業(yè)時,需要在處理前進(jìn)行稱為對準(zhǔn)的操作。在此所謂的對準(zhǔn),是指對載置于作業(yè)裝置的工件臺的基板的自基準(zhǔn)位置起的偏移進(jìn)行測量,且對該偏移進(jìn)行修正的操作。為了進(jìn)行對準(zhǔn),需要設(shè)定作為基準(zhǔn)的特征點及其位置。對于作為基準(zhǔn)的特征點而...
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