技術(shù)編號：9690512
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及到一種，屬于精密驅(qū)動。背景技術(shù)壓電驅(qū)動具有無電磁干擾、斷電自鎖、結(jié)構(gòu)簡單、低速大扭矩、力矩密度高、響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)，在航空航天、MEMS和光學(xué)精密工程等領(lǐng)域獲得了成功的應(yīng)用。壓電驅(qū)動按照激勵使用的頻率可分為共振型壓電驅(qū)動和非共振型壓電驅(qū)動。共振型壓電驅(qū)動利用壓電振子的共振頻率，在驅(qū)動位置形成橢圓或者斜線運(yùn)動軌跡。但是由于工作原理的限制，共振型壓電驅(qū)動的定位精度只能達(dá)到微米級或者亞微米級，難于實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步提高。而隨著超精密加工、微納制造和微電子制造等...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。