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用于氧化硅、氮化硅、和多晶硅材料的化學(xué)機(jī)械拋光的組合物和方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9635253

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在存儲(chǔ)器應(yīng)用中,典型的固態(tài)存儲(chǔ)器件(動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取存儲(chǔ)器值RAM)、靜態(tài)隨機(jī) 存取存儲(chǔ)器(SRAM)、可擦除可編程只讀存儲(chǔ)器巧PROM)、W及電可擦除可編程只讀存儲(chǔ)器 巧EPROM))對(duì)于各存儲(chǔ)位(memorybit)采用微電子電路元件。對(duì)于典型的非易失性存儲(chǔ)元 件(例如邸PR0M,即,"閃速"存儲(chǔ)器),采用浮柵場(chǎng)效應(yīng)晶體管作為數(shù)據(jù)儲(chǔ)存器件。運(yùn)些器 件將電荷保持在場(chǎng)效晶體管的柵極上W儲(chǔ)存各存儲(chǔ)位,且具有受限的可再編程性。此外,它 們編程起來是慢的。 在半導(dǎo)...
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