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一種半導(dǎo)體器件及其制造方法、電子裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9617462

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對(duì)于半導(dǎo)體器件中的邏輯電路而言,銅金屬互連層的層數(shù)達(dá)到數(shù)層乃至十?dāng)?shù)層。如圖1(a)所示,在形成有前端器件的半導(dǎo)體襯底100上形成有自下而上層疊的第一蝕刻停止層101和第一層間介電層102,在第一層間介電層102中形成有與所述前端器件連通的第一銅金屬互連結(jié)構(gòu)Ml ;在第一層間介電層102上形成有自下而上層疊的第二蝕刻停止層201和第二層間介電層202,在第二層間介電層202中形成有與第一銅金屬互連結(jié)構(gòu)Ml連通的第二銅金屬互連結(jié)構(gòu)M2 ;在第二層間介電層202...
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