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一種承片臺(tái)系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9617454

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在半導(dǎo)體專用設(shè)備制造過(guò)程中,晶圓減薄機(jī)的承片臺(tái)系統(tǒng)是實(shí)現(xiàn)磨削質(zhì)量的關(guān)鍵部件,磨削過(guò)程中,晶圓吸附在承片臺(tái)系統(tǒng)上,進(jìn)行旋轉(zhuǎn),磨削主軸高速旋轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)晶圓磨削工藝過(guò)程。傳統(tǒng)的承片臺(tái)系統(tǒng)主要就實(shí)現(xiàn)晶圓的承載,晶圓吸附過(guò)程中,對(duì)無(wú)切邊的晶圓吸附效果比較好,如圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中陶瓷吸盤的結(jié)構(gòu)示意圖;但對(duì)一些帶切邊的4寸、5寸、6寸以及8寸的晶圓,由于切邊的存在,會(huì)引起真空的降低,同時(shí)在磨削過(guò)程中,磨削液、磨削顆粒會(huì)順著陶瓷盤進(jìn)入管道,從而引起真空栗、控制閥等性能的下...
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