技術(shù)編號(hào)：9544798

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脆性材料，不管是硬脆材料還是軟脆材料。對(duì)于已達(dá)到一定尺寸精度、形狀精度和表面質(zhì)量的脆性材料工件，其超精密加工過(guò)程一般都是先進(jìn)行研磨加工，以去除表面與亞表面損傷層，進(jìn)一步提高尺寸精度和形狀精度，降低表面粗糙度。隨后通過(guò)軟質(zhì)的拋光墊進(jìn)行拋光加工，去除研磨加工帶來(lái)的損傷層，并使得工件表面粗糙度達(dá)到加工要求。通常研磨加工的時(shí)間是拋光加工時(shí)間的數(shù)十倍。而研磨加工后的表面形貌對(duì)后序的拋光加工時(shí)間有較大影響。為了提高脆性材料的整體加工效率，工件須通過(guò)研磨加工出易拋表面，...
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