技術(shù)編號(hào)：9439145
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明設(shè)及SOI(絕緣體上娃片，SilicononInsulator)結(jié)構(gòu)的混合基板的制造 方法和混合基板。背景技術(shù) 作為B-S0S(藍(lán)寶石上結(jié)合娃片，Bonded-SilicononSap曲ire)的一個(gè)制法，已知 利用了氨離子注入的"氨離子注入法"。已知如下方法采用貼合法將表面活性化的、氨離子 注入過的娃基板和藍(lán)寶石基板貼合，對(duì)于氨離子注入界面打入模子，使用水流的射流噴射、 光照射等適當(dāng)?shù)臋C(jī)械手段，在界面進(jìn)行機(jī)械剝離，制造薄膜化的娃膜。 此外，作為另...
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