技術(shù)編號:9353884
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。專利說明硫代硫酸鹽聚合物組合物和制品 發(fā)明領(lǐng)域 本發(fā)明涉及具有硫代硫酸鹽基團(tuán)的聚合物,含有所述聚合物的光敏組合物,和使 用所述聚合物的方法,包括提供圖案的方法。更具體地,本發(fā)明提供可用于光平版圖案化方 法的光敏組合物。 發(fā)明背景 烷基硫代硫酸鹽(R-S-S03 Na+),稱為本特鹽,已為人所知很長時(shí)間。通過使鹵代烷與硫代硫酸鈉反應(yīng)容易制備這些鹽。已在文獻(xiàn)中出 現(xiàn)大量對本特鹽的制備和經(jīng)典反應(yīng)的評論(例如,]^;\11^¥.?1^64口口1. Chem. 19...
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