技術編號：9246327
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。隨著電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，三氟化氮(Nitrogen Trifluoride，簡稱NF3)氣體在電子工業(yè)上有很廣泛重要的應用?，F有技術中，制備NF3氣體的主要方法為熔融鹽電解法，在陰、陽兩極產生氣體，即陽極產生NF3,陰極產生H2;為防止所述兩極產生的氣體混合爆炸，采用可隔離兩極的裙板式電解槽，其結構如圖1所示。由圖1可知，所述裙板式電解槽主要由陰極、裙板和陽極組成，陽極室和陰極室靠電解液液面以上的裙板隔離得到。由于電解產生的氣體從電極表面脫離存在飄逸角，為...
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