技術編號：9228722
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及微機電領域，特別涉及一種MEMS器件及其形成方法。背景技術MEMS (Micro Electro Mechanical System,微機電裝置)技術是今年來高速發(fā)展的一項高新技術，是對微米/納米(micro/nanotechnology)材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術。目前，在市場上應用比較普遍的MEMS器件包括加速度傳感器和壓力傳感器。MEMS加速度傳感器是一種利用慣性進行測量的裝置。根據(jù)傳感原理不同，主要有壓阻式、電容式、壓電式...
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