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聲響轉(zhuǎn)換器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9203094

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本發(fā)明涉及聲響轉(zhuǎn)換器。背景技術(shù)眾所周知,利用MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)技術(shù)制造小型的電容式聲響轉(zhuǎn)換器(例如,參照專利文獻(xiàn)I?3)。以下,使用圖15說明現(xiàn)有的一般的聲響轉(zhuǎn)換器的構(gòu)成。如圖所示,聲響轉(zhuǎn)換器具有使作為可動(dòng)電極的隔膜60和在由絕緣性材料構(gòu)成的板部71設(shè)有固定電極72的背板70經(jīng)由空隙而相對的構(gòu)成。在背板70上設(shè)有用于使聲響振動(dòng)通過的多個(gè)聲孔75。另外,在背板70上設(shè)有從板部71以貫通固定電極72的...
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