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一種非揮發(fā)性無浮柵晶體場效應(yīng)管存儲器的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:9201807

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非揮發(fā)性存儲器具有在無電源供應(yīng)時(shí)器件所存儲的邏輯數(shù)據(jù)仍能長時(shí)間保存的優(yōu)點(diǎn),是數(shù)字化信息技術(shù)中最為重要的硬件之一,備受學(xué)者和企業(yè)的關(guān)注。目前,市場上主流的非揮發(fā)性存儲器是基于電荷存儲機(jī)制的閃存(Flashmemory),非揮發(fā)性閃存存儲原理是通過對浮柵層進(jìn)行熱電子注入和釋放使得溝道層電子濃度發(fā)生改變而進(jìn)行非揮發(fā)性存儲。然而,這種熱電子注入和釋放方式需要對柵極和溝道層施加高電壓,會破壞絕緣層的絕緣程度。因此,閃存的擦寫次數(shù)有限制,擦寫速度慢,擦寫到達(dá)一定次數(shù)后...
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