技術(shù)編號：9201677
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。隨著近來對顯示器襯底、太陽能電池襯底、半導體晶片的需求及顯示器襯底、太陽能電池襯底、半導體晶片的大小日趨增加，在其生產(chǎn)中投入很多精力以增加穩(wěn)定性。為了生產(chǎn)此類大型襯底，檢查并分析大型襯底的缺陷為必需工藝。為了分析在此類襯底中產(chǎn)生的粒子的大小、形態(tài)及成分以及其類似者，通常使用掃描電子顯微鏡。在第10-2008-0071793號韓國專利公開案等中揭示了將掃描電子顯微鏡用于半導體生產(chǎn)的相關(guān)技術(shù)。圖1為說明根據(jù)相關(guān)技術(shù)的掃描電子顯微鏡I的示意圖。參考圖1，相關(guān)技術(shù)...
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