技術(shù)編號(hào)：9179264
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。最近十幾年來，用微機(jī)械技術(shù)制作的加速度計(jì)得到了迅速的發(fā)展。其主要的加速度檢測(cè)技術(shù)有壓阻檢測(cè)、壓電檢測(cè)、熱檢測(cè)、共振檢測(cè)、電磁檢測(cè)、光檢測(cè)、隧道電流檢測(cè)和電容檢測(cè)等。此外，還有一些基于這些檢測(cè)技術(shù)的加速度計(jì)，如光加速度計(jì)、電磁加速度計(jì)、電容加速度計(jì)等。光加速度計(jì)的發(fā)展主要是為了結(jié)合光和微機(jī)械的優(yōu)點(diǎn)，制作高電磁屏蔽或者好線性度的傳感器。在這些傳感器中，電容式加速度傳感器，由于具有溫度系數(shù)小，靈敏度高，穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，是目前研制的最多的一類加速度傳感器。微機(jī)械電...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。