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一種傳感器調(diào)試裝置的制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):9124207

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BM1001型高G值加速度傳感器,其較多在軍用領(lǐng)域中用于及時(shí)反饋其飛行狀態(tài),以便于實(shí)現(xiàn)精確打擊目標(biāo)。如圖1所示,BM1001傳感器的核心部分是采用體硅MEMS (微電子機(jī)械系統(tǒng))工藝加工的單晶硅芯片,芯片的中心有可動(dòng)的集成敏感電阻的懸臂梁,當(dāng)器件受到加速度作用時(shí),懸臂梁上的四個(gè)敏感電阻分別增大和減小,由該四個(gè)敏感電阻構(gòu)成的惠斯通電橋輸出相應(yīng)的值,該輸出值與施加的加速度呈正比。當(dāng)BM1001傳感器接入使用電路后,對其零位電壓有較高的準(zhǔn)確要求,在電路中通過調(diào)整...
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