技術(shù)編號：8897688
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。多晶硅，是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時，硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核，如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結(jié)合起來，就結(jié)晶成多晶硅。多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接原料，是當(dāng)代人工智能、自動控制、信息處理、光電轉(zhuǎn)換等半導(dǎo)體器件的電子信息基礎(chǔ)材料。通常采用沉積法生長多晶硅時，最令人困擾的問題之一在于原料氣體的自分解。以最常見的硅烷混合氣體為例，由于硅烷在400°C即會發(fā)生自分解，而通常采用的爐內(nèi)工藝溫度一般達(dá)600°C至800°C...
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