技術(shù)編號(hào)：8828362
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。PECVD鍍膜工序之前或之后都會(huì)用到石墨舟。在石墨舟定位后對(duì)其上的硅片進(jìn)行裝卸?，F(xiàn)有的石墨舟傳輸定位主要有以下特點(diǎn)石墨舟的輸送多采用伺服馬達(dá)，成本較高；石墨舟的定位采用較多的傳感器，成本較高；石墨舟夾緊定位時(shí)采用氣缸力直接作用在舟片上，容易損傷舟片?；谝陨咸攸c(diǎn)，現(xiàn)有的石墨舟定位技術(shù)存在如下缺點(diǎn)1.石墨舟定位的機(jī)構(gòu)比較復(fù)雜；2.石墨舟輸送和定位的成本都比較高；3.石墨舟定位時(shí)容易損傷石墨舟。實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供一種石墨舟定位裝置，能夠解決上述問題。本...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。