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一種真空閘板閥及質(zhì)譜分析儀器的制造方法技術資料下載

技術編號:8650135

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質(zhì)譜儀器一般由離子源、離子傳輸系統(tǒng)和質(zhì)量分析系統(tǒng)等部分組成。工作時,離子源、離子傳輸系統(tǒng)和質(zhì)量分析系統(tǒng)要求真空度較高,以保證樣品電離效率、離子傳輸效率與分辨能力。更換樣品時,離子源部分需要暴露于大氣中,使整個系統(tǒng)壓強頻繁在大氣壓與高真空之間變化。換樣前,需要關閉質(zhì)譜儀真空系統(tǒng),并向整個系統(tǒng)緩慢充氣;換樣后,重新開啟質(zhì)譜儀真空泵組。一般需要數(shù)小時才能建立檢測所要求的真空環(huán)境,嚴重制約質(zhì)譜儀分析效率。實用新型內(nèi)容為了解決上述現(xiàn)有技術中存在的缺陷,實現(xiàn)換樣后質(zhì)譜...
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