技術(shù)編號：8494474
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著科學(xué)技術(shù)的迅速發(fā)展，強(qiáng)激光光學(xué)系統(tǒng)和高清晰度光學(xué)系統(tǒng)，如戰(zhàn)術(shù)激光武器光學(xué)系統(tǒng)、遠(yuǎn)距離紫外與紅外成像探測系統(tǒng)、深空光電探測系統(tǒng)、輕質(zhì)穩(wěn)像觀瞄系統(tǒng)、激光雷達(dá)系統(tǒng)、深紫外與極紫外光刻系統(tǒng)等，對具有亞納米級表面粗糙度和納米級面型精度光學(xué)元件的需求日益迫切，需要依靠超精密光學(xué)元件及其制造技術(shù)來實(shí)現(xiàn)。先進(jìn)光電系統(tǒng)發(fā)展的要求日益提升，“超精密”所對應(yīng)的精度和表面質(zhì)量也在日益精細(xì)化。以表面粗糙度和面型精度為例，超光滑的尺度已經(jīng)發(fā)展到表面粗糙度達(dá)到Inm以下，面型精度優(yōu)...
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