技術(shù)編號：8410755

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本發(fā)明涉及精密科學(xué)顯微觀測儀器，特別涉及一種。集顯微觀測、精密驅(qū)動、主動跟隨等技術(shù)于一體?？舍槍Σ煌d荷狀態(tài)下的各類材料提供原位測試，揭示材料在微納米尺度下的力學(xué)特性和變形損傷機(jī)理，對于新材料、新工藝、半導(dǎo)體技術(shù)及特殊物理場下的材料的原位測試等的發(fā)展具有重要的推動作用。背景技術(shù)材料測試技術(shù)一直是材料科學(xué)與工程應(yīng)用的重要手段和方法，材料測試技術(shù)的發(fā)展與完善對材料科學(xué)的發(fā)展具有重要作用。所有零部件在使用過程中都不可避免地承受載荷的作用，有的零部件還在特殊的物理...
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