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Sram中的存儲(chǔ)單元的檢測方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8382077

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本發(fā)明涉及集成電路,特別涉及一種SRAM中的存儲(chǔ)單元的檢測方法。背景技術(shù)隨著集成電路集成度的提高以及電源電壓的降低,構(gòu)成集成電路的半導(dǎo)體器件的幾何尺寸不斷縮減,這就要求不斷改進(jìn)芯片的制造工藝。制造工藝的改進(jìn)對(duì)單個(gè)半導(dǎo)體器件的性能影響很大,為評(píng)估半導(dǎo)體器件的性能,通常需要對(duì)半導(dǎo)體器件的可靠性進(jìn)行測試。靜態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(SRAM, Static Random Access Memory)中存在大量由兩反相器構(gòu)成的存儲(chǔ)單元,每個(gè)反相器包括一對(duì)上拉PMOS管與下拉N...
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