技術(shù)編號：8362980
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。在一種離子注入裝置中連接有離子源及其電源，以使具有較小射束電流量的離子束從離子源引出(例如，參考專利文獻(xiàn)I)。該裝置中能夠改變離子源和電源的連接，以使具有較大射束電流量的尚子束從尚子源引出。另一種離子注入裝置具有離子源、加速管及連接它們的電源的電氣電路，以使以較高的離子能量向靶注入離子(例如參考專利文獻(xiàn)2)。該電氣電路上設(shè)有用于切換連接的選擇開關(guān)，以便在離子能量較低時(shí)也能夠注入離子。專利文獻(xiàn)1日本特開昭62-122045號公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開平1-149...
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