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蝕刻劑和使用其制造顯示器的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:8334365

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顯示面板是用于驅(qū)動像素的開關(guān)器件并且可包括包含形成于其上的薄膜晶體管 的顯示基板。所述顯示基板可包括通過光刻法工藝形成的多個金屬圖案。發(fā)明內(nèi)容 實施方式涉及蝕刻劑,其包括基于所述蝕刻劑的總量的約0. 5-約20重量%的過 硫酸鹽、約0. 01-約2重量%的氟化合物、約1-約10重量%的無機酸、約0. 5-約5重量%的 唑化合物、約0. 1-約5重量%的給電子化合物、約0. 1-約5重量%的氯化合物、約0.05-約 3重量%的銅鹽、約0. 1-約10重量%...
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