技術(shù)編號(hào)：8254678
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。微機(jī)電器件的性能與材料參數(shù)有密切的關(guān)系，由于加工過程的影響，一些材料參數(shù)將產(chǎn)生變化，這些由加工工藝所導(dǎo)致的不確定因素，將使得器件設(shè)計(jì)與性能預(yù)測(cè)出現(xiàn)不確定和不穩(wěn)定的情況。材料參數(shù)測(cè)試目的就在于能夠?qū)崟r(shí)地測(cè)量由具體工藝制造的微機(jī)電器件材料參數(shù)，對(duì)工藝的穩(wěn)定性進(jìn)行監(jiān)控，并將參數(shù)反饋給設(shè)計(jì)者，以便對(duì)設(shè)計(jì)進(jìn)行修正。因此，不離開加工環(huán)境并采用通用設(shè)備進(jìn)行的測(cè)試成為工藝監(jiān)控的必要手段。材料力學(xué)性能的物理參數(shù)主要包括楊氏模量、泊松比、殘余應(yīng)力、斷裂強(qiáng)度等。在MEMS內(nèi)，絕...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。