技術(shù)編號：8227285
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。 本發(fā)明涉及真空蒸鍍裝置。尤其，本發(fā)明涉及能夠在一個成膜室內(nèi)使多個成 膜層成膜的真空蒸鍍裝置。本發(fā)明的真空蒸鍍裝置適合作為用于制造有機EL(Elect r〇 Luminesence電致發(fā)光）裝置的裝置。另外，本發(fā)明涉及有機EL裝置的制造方法。背景技術(shù) 近幾年，作為替代白熾燈、熒光燈的照明裝置，有機EL裝置受到注目，并進行了很 多研宄。有機EL裝置是通過在玻璃基板、透明樹脂薄膜等基材層疊了有機EL元件而成的。 并且，有機EL元件是使一方或者雙方具有透光性的...
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