技術(shù)編號：8198204
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域光刻設(shè)備是一種將所需圖案應(yīng)用到襯底上，通常是襯底的目標(biāo) 部分上的機器。例如，可以將光刻設(shè)備用在集成電路(IC)的制造中。 在這種情況下，可以將可選地稱為掩?；蜓谀０娴膱D案形成裝置用于生 成在所述IC的單層上待形成的電路圖案?？梢詫⒃搱D案轉(zhuǎn)移到襯底(例 如，硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如，包括一部分管芯、 一個或多個管 芯)上。通常，圖案的轉(zhuǎn)移是通過把圖案成像到提供到襯底上的輻射敏 感材料(抗蝕劑)層上進行的。通常，單獨的襯底將包含被連續(xù)形成圖 案的相鄰目標(biāo)部分的網(wǎng)絡(luò)。公知的光刻設(shè)備包括步進機，在所述步進 機中，...
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