技術(shù)編號(hào)：8194992
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體外延生長(zhǎng)的生長(zhǎng)襯底。背景技術(shù)為了降低生產(chǎn)成本，使得LED進(jìn)入通用照明領(lǐng)域，LED行業(yè)正在經(jīng)歷采用大尺寸的生長(zhǎng)襯底的發(fā)展過程。生長(zhǎng)襯底的尺寸越大，均勻性問題越重要，只有解決了大尺寸生長(zhǎng)襯底的外延生長(zhǎng)的均勻性問題，采用大尺寸生長(zhǎng)襯底以便降低成本的優(yōu)勢(shì)才能充分表現(xiàn)出來。 在外延生長(zhǎng)時(shí)，生長(zhǎng)襯底的第二主表面接觸加熱的石墨盤，溫度較高；生長(zhǎng)襯底的第一主表面散熱，并接觸氣體，溫度較低，兩個(gè)主表面之間的溫度差使得生長(zhǎng)襯底翹曲。另夕卜，外延層與生長(zhǎng)襯底的熱漲系數(shù)不同，每個(gè)生長(zhǎng)襯底的內(nèi)部應(yīng)力、厚度及厚度均...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。