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Led外延片沉積方法和led外延片沉積設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):8156738

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技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及LED外延片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種LED外延片沉積方法及用于實(shí)施該方法的LED外延片沉積設(shè)備。背景技術(shù)自氮化鎵(GaN)基第三代半導(dǎo)體材料的興起,藍(lán)光發(fā)光二極管(LED)外延結(jié)構(gòu)研制成功,發(fā)光二極管芯片的發(fā)光強(qiáng)度和白光發(fā)光效率不斷提高。半導(dǎo)體發(fā)光元件被認(rèn)為是下一代進(jìn)入通用照明領(lǐng)域的新型光源,因此得到廣泛關(guān)注?,F(xiàn)有技術(shù)中的氮化鎵LED外延片通常包括依次層疊的N型氮化鎵材料層、銦鉀氮/氮化鎵材料量子阱層和P型氮化鎵材料層。沉積所述氮化鎵LED外延片的方法通常包括提供一反應(yīng)腔,待處理襯底設(shè)置在反應(yīng)腔...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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