技術(shù)編號：8152065
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及一種半導(dǎo)體器件及集成電路制造過程中用于對硅片進行工藝處理的擴散系統(tǒng)中的雙桿式推拉裝置。背景技術(shù)擴散系統(tǒng)是在半導(dǎo)體器件及集成電路制造過程中用于對硅片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝處理的熱加工設(shè)備。擴散系統(tǒng)主要包括擴散爐及推拉裝置，擴散爐用于對硅片進行擴散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等處理，而所述的推拉裝置則是用于將工件(即硅片)送入擴散爐中進行加工，并在加工過程結(jié)束后將其從擴散爐中取出。目前，擴散系統(tǒng)中使用的推拉裝置多為手動推裝置，即人工將承載著硅片的裝置(通常稱為舟)沿滑軌送入擴散爐內(nèi)腔中...
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